TDH-D系列电动探针台测试晶圆忆阻器失效分析IV测试价格

产品特性：电动探针台	是否进口：否	产地：山东济南
加工定制：是	品牌：创谱仪器	型号：TDH-D系列
规格：全新原装

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TDH-D系列电动探针台测试晶圆忆阻器失效分析IV测试

产品信息：

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备；通过电机驱动系统，实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的***移动和定位，使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后，可将样品的电信号传输到外部的测量仪器，如示波器、万用表、半导体参数分析仪等，从而对样品的电学特性进行测量和分析，如电流、电压、电阻、电容、电感等参数；配合的是五相步进电机，可以运动手轮操作，也可以软件操作，实现自动控制，该系列均采用高精度电动控制，非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。

技术参数：

◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率1.5μm，样品XYZR四维电动调节

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆大尺寸机身结构，增强操作舒适度。更大空间的针座平台，支持加载针卡，提升点针测试效率

◆探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆1微米以上电极/PAD使用

◆半圆形加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多轴运动控制器，匹配三通道运动手轮组，交互界面可以同时显示每个轴的运行参数，操作直观，无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴，也可以多个轴组合运动；支持二次开发

◆集成24寸4K显示器以及显示器万向支架，实时观测，也可集成笔记本电脑支架，方便放置笔记本电脑

◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等

规格参数：

型号	TDH-D4	TDH-D6	TDH-D8	TDH-D12
样品卡盘	卡盘尺寸	4英寸	6英寸	8英寸	12英寸
吸附孔	4个	4个	5	5/6个
样品固定方式	环形真空吸附（可定制多孔吸附）
真空吸附	进口无油真空泵，7L/min
背电极功能	可引出背电极
卡盘材质	不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍）
电动样品台	X-Y轴电动调节行程	110110mm/4英寸4英寸	110110mm/6英寸6英寸	110110mm/8英寸8英寸	110110mm/12英寸12英寸
位移精度	±1.5μm
R轴	360°旋转（粗调）；±5°精密调节
Z轴	行程10mm
运动控制器	匹配五相步进电机，具备机械限位以及零位
控制方式	软件、运动手轮组
针座平台	外形尺寸	300*150mm/U型尺寸
材质	加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，***测试精度
针座定位方式	磁力吸附（可以升级真空吸附）
卡盘到平台距离	8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
针座数量	最多可放置6个DC探针座/4个RF针座	最多可放置10个DC探针座/6个RF针座
成像方式	显微镜规格	标配金相显微镜（可选配体式显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜）
物镜	标配2X、5X、10X、20X、50X（可选配100X）
物镜转换器	手动款/电动款
放大倍数	20-500倍纯光学放大
CCD像素	2000W高清像素
运动控制/调焦	Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm
显微镜位移行程	XY行程25mm*25mm，分辨率3μm/可升级为电动款
显示器	24寸4K高清显示器，HDMI高清接口
探针座规格	X-Y-Z行程	13mm-13mm-13mm
机械精度	10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动）
漏电精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
接口形式	香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口
安装方式	可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装

实物图：

供应商信息

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山东创谱光学仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、半导体技术于一体的高科技企业，公司技术力量雄厚，拥有一批长期从事光电技术研发、生产、销售的专业团队，在材料光电分析、分立器件/晶圆等半导体测试分析、位移精密调节、自动化控制、光电测试分析、精密影像测量、光谱分析测量等方面具有十多年的专业经验。创谱仪器主要生产经营：探针台，光电测试系统，光谱测量系统，光谱仪器，科研级光源，光学积分球，光学隔振平台，精密位移台，光学调整架，光具座元器件等产品，我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好全方位质量***，就是要让您 “付有所值”，以合理的价位得到优质的产品，这是我们对您选择创谱仪器真诚的回报。

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企业类型	其他有限责任公司	注册资本	1000.00万人民币
公司注册地址	中国（山东）自由贸易试验区济南片区世纪大道9099号唐冶院士谷11号楼303-2	统一社会信用代码	91370104MA3M5C5G59
登记机关	济南市历城区市场监督管理局	法定代表人	张子平
公司成立日期	2018-07-13	营业期限	2018-07-13 至无固定期限
经营范围	一般项目：光学仪器制造；电子测量仪器制造；实验分析仪器制造；教学专用仪器制造；实验分析仪器销售；仪器仪表制造；教学专用仪器销售；减振降噪设备制造；减振降噪设备销售；电子测量仪器销售；泵及真空设备制造；光学仪器销售；泵及真空设备销售；电子（气）物理设备及其他电子设备制造；金属制品研发；软件开发；物联网技术研发；机电耦合系统研发；电机及其控制系统研发；电子元器件零售；人工智能行业应用系统集成服务；智能控制系统集成；专业设计服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；图文设计制作。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

联系方式

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