| 品牌:其他 | 型号:5635 | 类型:其他 |
| 风机压力:其他 | 气流方向:其他 | 特殊性能:其他 |
| 加工定制:否 | 外壳材质:其他 | 产地:日本 |
5635型Aerobar MP离子发生器是一款颗粒相容性产品,专为在要求100 nm或更小的微粒管理(例如在***的半导体制造工艺中)的区域消除静电而开发。

特征
单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录,可避免电极材料污染金属以及颗粒特性的风险。
高静电消除性能,可通过原始MP(脉冲调制)方法有效地将离子传输到目标
很小的潜在摆动特性,即使在100 mm的距离上也可以使用,并且离子平衡,在棒的长度上几乎没有偏差
智能控制电路不断自动管理离子产生状态和离子平衡
可以在1/4圈上装卸的可更换电极有助于减少维护人力
MP方法的电位摆幅非常小,简化了设置过程,并且较小的电位摆幅有效地将长期离子平衡保持在控制标准之内。
设置一条长度适合EFEM的长度以进行半导体前处理
内置24V DC驱动控制器的紧凑型设计
遍布全球的***支持网络
规范5635型AeroBar MP
| 输入电压 | 24V DC +/- 10% |
|---|---|
| 输出电压 | 约13.5kv pp可调 |
| 安装距离 | 100mm-1000mm(不吹气) |
| 离子产生方法 | 电晕放电法 MP(脉冲调制)法调制频率1-33 Hz
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| 离子平衡 | 自动平衡调整方法 <+/- 10V,由于位置<+/- 10v (600毫米距离)而引起的内杆差异
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| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥的空气或氮气 |
| 吹扫压力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm(24小时累计值) |
| 信号输出 | 警报IO集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高度78毫米x深度34毫米x长度低于 |
| 450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 /1600 / 1750年/二千○五十分之一千九百/ 2200 /2350毫米
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| 外观 | ABS树脂 |
什么是扩展*** 1,10nm级?
关于扩展的*** Class 1,10nm?ION Systems拥有自己的清洁度定义,以支持微粒管理。***14644-1的小粒径定义为100 nm。扩展*** 1,10nm级别使用与***14644-1相同的公式来计算允许的颗粒数量,并且允许的颗粒数量为1200pc / m3(34 pc / ft3),且颗粒大小为10nm或更大
成都藤田光学仪器有限公司成立于2020年11月25日,注册地位于成都市青羊区日月大道一段978号3栋2单元10层1012,法定代表人为谢祥炳。经营范围包括一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;计算机软硬件及辅助设备零售;劳动保护用品销售;机械设备销售;电子产品销售;汽车零配件零售;汽车零配件批发;日用百货销售;办公用品销售;工艺美术品及礼仪用品销售(象牙及其制品除外);五金产品批发;五金产品零售;仪器仪表销售;会议及展览服务;供应链管理服务;普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 成都市青羊区日月大道一段978号3栋2单元10层1012 | 统一社会信用代码 | 91510105MAACE1C52R |
| 登记机关 | 青羊区市场监督管理局 | 法定代表人 | 谢祥炳 |
| 公司成立日期 | 2020-11-25 | 营业期限 | 2020-11-25 至 无固定期限 |
| 经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;进出口代理;国内贸易代理;货物进出口;技术进出口;计算机软硬件及辅助设备零售;信息技术咨询服务;互联网销售(除销售需要许可的商品);劳动保护用品销售;机械设备销售;电子产品销售;汽车零配件零售;汽车零配件批发;日用百货销售;办公用品销售;工艺美术品及礼仪用品销售(象牙及其制品除外);五金产品批发;五金产品零售;仪器仪表销售;会议及展览服务;供应链管理服务;普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);广告设计、代理;广告制作;广告发布。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) | ||

