| 产品特性:绝缘 | 加工贸易形式:来图、来样加工 | 年最大加工能力:9999 |
| 主要加工设备:喷涂设备 | 加工设备数量:9999台(套) | 表面处理:喷涂 |
| 承涂材质:金属 | 年剩余加工能力:9999 | 喷涂工艺:超声波喷涂 |
半导体晶圆载具专用PAI(聚酰胺酰亚胺)涂层喷涂加工服务
本公司专为半导体行业开发的PAL(聚酰氨酰亚胺)涂层喷涂服务,采用改性材料,专门用于晶圆载具(如FOUP、FOSB、SMIF盒、石英舟等)的表面防护。该涂层具有极低的金属离子含量、优异的耐化学性(抵抗酸、碱、溶剂侵蚀)和稳定的介电性能,为价值昂贵的晶圆提供全方位保护。
涂层厚度可***控制在10-100μm范围内,表面粗糙度Ra<0.2μm,确保载具表面光滑无粉尘脱落风险。
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