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随着科学技术的不断发展,现代光学工业对光学玻璃提出了精度高、需求量大等苛刻要求。从精度方面,要求光学玻璃具有面形精度高(Ra≤0.1 μm)、表面粗糙度低(Ra≤12 nm)以及亚表面裂纹少等;从需求量方面,以激光核聚变装置 所 需的光学玻璃为例,美国国家点火装置(National Ignition Facility, NIF)的光学系统使用7000多件大口径光学元件(口径大于400mm×400mm)。
工作台面采用整体花岗岩结构,在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨,以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动,同时为了防止直线电机的运动影响台面,为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制,从而了工作台具有、快速响应的运动特性。
砂轮架,开发了转速范围广、高刚性、砂轮静压主轴系统,以实现砂轮的高刚性、回转运动。砂轮轴采用液体静承支承,SIEMENS内置式主轴电机,采用冷却液强制冷却主轴电机,砂轮主轴配备了砂轮平衡装置,配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不平衡量进行补偿。
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