| 新旧程度：9成新 |
进口干法刻蚀机 金属刻蚀机 ULVAC NE950 日本原装进口爱发科
一、典型应用：Ⅲ-Ⅴ族化合物材料刻蚀，可自行调试工艺。 二、原理：通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解，产生的具有强化学活性的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面，对样品表面既进行化学反应生成挥发性气体，又有一定的物理刻蚀作用。因为等离子体源与射频加速源分离，所以等离子体密度可以更高，加速能力也可以加强，以获得更高的刻蚀速率，以及更好的各向异性刻蚀。
1.设备配气：Ar、O2、、CF4、C4F8、SF6、SiF4、Cl2、BCl3； 2.Antenna RF：0-2000W； 3.Bias RF:0-2000W； 4.Shield：～+200℃； 5.chiller：-20～+40℃；
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 5000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 苏州工业园区科营路2号中新生态大厦2楼218 | 统一社会信用代码 | 91320594MA1MPP1U5P |
| 登记机关 | 苏州工业园区行政审批局 | 法定代表人 | 张晓川 |
| 公司成立日期 | 2016-07-12 | 营业期限 | 长期有效 |
| 经营范围 | 电子科技、计算机软硬件、计算机信息技术、计算机系统集成、网络科技、机电一体技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；生产半导体设备、电子设备；批发：日用百货、针织纺品、矿产品、仪器仪表、家具、工艺礼品、电子产品、电子元器件、五金电器、家电产品、酒店用品、橡塑制品、建材、电线电缆、通讯器材、劳防用品、非危险性化工产品、汽摩配件；建筑工程、室内装潢工程的设计与施工；清洁服务；商务信息咨询；自营和代理各类商品及技术的进出口业务；普通货物仓储服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
产品推荐
-
面议 -
面议
-
面议
-
面议
-
面议
-
面议
-
面议
-
面议
推荐产品
-
面议
-
面议
-
面议
-
面议
本页信息为苏州纳锐电子科技有限公司为您提供的"进口干法刻蚀机 金属刻蚀机 ULVAC NE950 日本原装进口爱发科"产品信息，如您想了解更多关于"进口干法刻蚀机 金属刻蚀机 ULVAC NE950 日本原装进口爱发科"价格、型号、厂家请联系厂家，或给厂家留言。 进入店铺
在线留言
