一、产品类型与技术特点

1. 电容薄膜真空计

• 原理：通过测量薄膜在压力作用下的变形来间接测量真空度，实现直接压力测量。

• 特点：兼具***精度、稳定性与气体类型无关性，数据可靠无偏差。例如，SKY? CDG025D电容薄膜真空计，在半导体及光学薄膜涂层等精密制造领域应用广泛。

• 应用：适用于需要高精度真空测量的场合，如半导体制造、光学薄膜涂层等。

2. 皮拉尼真空计

• 原理：基于气体热传导原理，通过测量加热电阻丝的温度变化来反映真空度。

• 特点：测量范围广，从低真空到高真空均可覆盖。例如，PSG500皮拉尼真空计，测量范围5×10??至1000毫巴，精度±15%读值（在1×10??至100毫巴范围内）。

• 应用：常用于空调抽真空、制冷系统抽真空等工业领域。

3. 冷阴极电离真空计

• 原理：通过气体放电方式产生电子，利用磁场使电子获得能量将气体分子电离，通过测量离子流强度来确定真空度。

• 特点：无灯丝设计，抵抗空气涌入能力强，耐腐蚀。例如，IKR251冷阴极电离真空计，测量范围2×10??至10??毫巴，精度≈±30%读数（在10??至10??毫巴范围内）。

• 应用：适用于超高真空测量场合，如核聚变装置、太空模拟等。

4. 复合真空计

• 特点：结合多种测量原理，实现宽域测量。例如，MPG400/MPG401反磁控皮拉尼真空计，覆盖从5×10??至1000毫巴的测量范围，兼具皮拉尼和冷阴极系统的优点。

• 应用：适用于需要全范围真空监测的复杂系统，如大型科研设备、工业真空镀膜机等。

二、产品优势

1. 高精度与稳定性：INFICON AG真空计采用***的传感技术和精密制造工艺，确保测量结果的准确性和稳定性。

2. 宽测量范围：产品覆盖从低真空到超高真空的广泛范围，满足不同应用场景的需求。

3. 智能化设计：配备智能控制器和***的工业通信协议（如PROFINET、PROFIBUS等），实现远程监控和自动化控制。

4. 高品质组件：高真空/超高真空接头、馈通件与观察窗等组件均符合国际质量标准，保障系统整体性能。

三、应用领域

1. 半导体制造：在芯片制造的光刻工序中，微小的尘埃颗粒都可能造成电路短路等严重问题。INFICON AG真空计提供的高真空环境可有效避免尘埃干扰，提高芯片的良品率。

2. 光学薄膜涂层：在光学薄膜的制备过程中，真空度的控制直接影响薄膜的质量和性能。INFICON AG真空计能够***测量真空度，确保薄膜制备的顺利进行。

3. 工业真空镀膜：在工业真空镀膜设备中，真空度的稳定对于镀膜质量至关重要。INFICON AG真空计能够实时监测真空度变化，为镀膜工艺提供可靠的数据支持。

4. 科研领域：在粒子加速器、核聚变装置等大型科研设备中，真空环境的稳定与精准测量是实验成功的基础。INFICON AG真空计以其***的性能和可靠性，成为科研人员的工具。