美国ENTEGRIS应特格，WG3NS8RR2现货，Wafergard? III NF Micro XL 在线气
体过滤器

WG3NS6SL2
WGMXLPRR6 
WG3DBGNRR4

美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
WG3D50DR2
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
WGSLNFC1H?
美国ENTEGRIS气体过滤器，WDPM0CPSF，数量3个
SV10F20E16   气体过滤器
SVTV01TQ1    气体过滤器
WGFG16HP2，气体过滤器
Entergris 过滤器
型號：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3个

美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
SI2***00BRR6,
WGFG16HP2

美国ENTEGRIS英特格，过滤器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1

英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4     
WGMXMBSS3   
YY4110106
YY5032PS1   
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA

Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR

WGMXMPRR4数量10

WGMXMBRR2数量5
 为超纯气体系统过滤提供***的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。

进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了的设计效率并限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
  Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。

提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.99999*** 去除所有直径大于 0.015 μm 的颗粒
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA) 
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
  支架、外壳： 粉煤灰
推荐流量 30 升/分钟
连接 1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.99999*** 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在***穿透性的
颗粒尺寸下验证）
运行条件 工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
  正向压差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
  反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
  工作温度： 50°C (122°F)
方面 长度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
  直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA  8个 单价24500  8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4个 单价62000 3.5-4个月

零件号
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件装过滤器
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件装过滤器
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件装过滤器
  ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2现
货

其他商品
动压应用
惰性和活性气体
产品规格

WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI

WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2

材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
  住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子<0.03 颗粒/升（<1 ft="">0.01 μm
  挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
  Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
  Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
  Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
  Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
    Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.99999*** (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
 零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
.特种气体

特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电
子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量
、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行
业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独***求。

Gasketgard 在线垫片过滤器

Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 ***
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
  ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGMBRR4

ENTEGRIS WGFGT1PR1

Entegris WG2FT1SS2

Entegris WG2FT1SS2

ENTEGRIS WGMXMSRR4

ENTEGRIS WGMXMSRR2

Entegris WG2FT1RR2

Entegris WG2FT1RR2

ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS CBUG0S0S1

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPM0GGT4

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2

ENTEGRIS WG3NS8RR2

Wafergard SG 气体过滤器

Wafergard SG FG 气体过滤器提供***的微粒过滤，以限度地提高光伏电池和
显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供***的微粒过滤，以限度地提高光伏电
池和显示器的生产产量。 

与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
***的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（
与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与
VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与
世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
  

WGFGT1PR1 WGFGMBRR4   YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F
WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6
WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1
CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW  GPUS2500FIX04R00CA 等常规
型号均有现货  

ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR2    

ENTEGRIS        LGMXFPSS4    

ENTEGRIS        WGMXMSRR2（无包装）    

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WGMXMBRR4    过滤器

ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR4    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR4    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NS8RR2    过滤器

ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

Entegris        WGMXMBRR4    过滤器

ENTEGRIS        WG3NS1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR2    

ENTEGRIS        LGMXFPSS4    

ENTEGRIS        WGMXMSRR2（无包装）    

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3
WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2
WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4
WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1
SI2***00B

ENTEGRIS        CBUG0S0S1    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMPRR4    

ENTEGRIS        WGMXMPSS3    

ENTEGRIS        WG2F02RR4    

Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    

ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器

Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。

保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界***的 *** 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用 
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质  
  保持器 316 不锈钢  
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%  
运行条件： 压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
  工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
WG2F02RR2

WG2F02RR4

WG2F15HJJ6

WG2FT1RF2

WG2FT1RR2

WG2FT1SS2

WG2SS8RR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3JJ2

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

WG3NS8RR2

WG3SS1WW2

WG3SS2WW2

WGFA21KP0

WGFG01DS0

WGFG01DSH

WGFG01KP0

WGFG01KP3

WGFG01RH2

WGFG02PR1

WGFG21KP0

WGFG21KP3

WGFG32PRU

WGFG50PR1

WGFGMBRR2

WGFGMBRR4

WGFGT1PR1

WGFGT1PS1

WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4

WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 过滤器 应特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0

WGSLSFC1M

YY5001HR1
LGMXFPRR4 过滤器 entegris 应特格

SI2R15E05 SI2***00B SI2N0200B 过滤器
YY5032PR1

YY5032PS1

YY50600VT
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）

  Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 ***
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
  
 Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。

保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK

WSP20-2M-20KK

CG2NDD050R2

LGMXFPRR4

LGMXFPSS3

SI2MSNFE05

SI2N0025R

SI2N0050R

SI2***00B

SI2***00BRR8

SI2N0200B

SI2R007RO

SI2R15E05

SI5BGLTE07

WG2F02RR2

WG2F02RR4

WG2F15HJJ6

WG2FT1RF2

WG2FT1RR2

WG2FT1SS2

WG2SS8RR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3JJ2

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

WG3NS8RR2

WG3SS1WW2

WG3SS2WW2

WGFA21KP0

WGFG01DS0

WGFG01DSH

WGFG01KP0

WGFG01KP3

WGFG01RH2

WGFG02PR1

WGFG21KP0

WGFG21KP3

WGFG32PRU

WGFG50PR1

WGFGMBRR2

WGFGMBRR4

WGFGT1PR1

WGFGT1PS1

WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4

WGSLNFC1L

WGSLSFC1M

YY5001HR1

YY5032PR1

YY5032PS1

YY50600VT

GPUS200FIX04R00CA

GPUS2500FHX04R00CA

GPUS2500FHX08R00CA

GPUS2500FIX04R00CA

GPUS2500FIX08R00CA

GPUS2500NCX04R00CA

GPUS2500NCX08R00CA

GPUS2500NCX08R02CA

GPUS300FWX04R02CA

GPUS300FYX04R02CA

GPUS300NCX04R02CA

AFUG0LPM1

AHUXMLEX1

AMVT33201

APD12LEM1

APD25LEM1

APD50SPM1

BA10012PWENH

BA10022PWENH

CHUX3L0P1M

CHUY3L0P1M

CN2501E06

DFFG01N8S1P

FGPA010T1

FGPH010T1

PFFZ01P4P

PGFPV010V1

PGPDN002AH3NF-N

PGPSG010E1

SKPS010H2F

SV02010E1

SV0261PE1

SV02R10E1

SV0561PV1

SV05R10E1

SV1061PE1

SV10R10E1

SV1H61PE1A

SV1HR10E1A

SV20R10E1

SV2HR10E1

SV2HR10T1

SV30010E1

SV3061PE1

SV30R10E1

SV30R10T1

SV3H61PE1

SV3HR10T1

SV4HR10T1

SV50R10E1

SVAAR10E1

SVAG010E1

SVAG020T1

SVAG61PE1

SVAGR10E1

SVAH010E1

SVAH61PE1

SVAHF10E1

SVAVR10E1

SVEG010E1

SVEG0S0E1

SVEG61PE1

SVES020T1

SVSAR10E1C

SVSGR10E1C

SVSHR10E1C

SVSV61PE1C

SVSVR10E1C

UPEH030E1

CPUV01PLT

CTCAT200Q0D

CTCGT100BKH

CTCVT100Q0H

CTCVT100QKH

CTFG01TPE

CTFG0STPE

CW0A020E1

CWAG0S0S1

WG2L200SS3R2

WG2L200SS3R4

WG2L500SS5R4

WG2S01WW2

WG2SS8RR2

WG2SS8RR2S

WG3D25LR2

WG3D25SR2

WG3D401R2

WG3D40DR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

CWAG40EL1

CWAV3L0S1

CWUG3L0S1

NXCGT10000P

NXPZ150M31FP

PGTV01EQ1

SVTA01TQ1

SVTA01TQ1K

SVTA02TQ1

SVTA0MTQ1

SVTB01TQ1K

SVTC01TQ1

SVTG01TQ1KPW

SVTG02TQ1KPW

SVTH01TQ1

SVTH01TQ1KPW

SVTV01TQ1

SVTV01TQ1K

SVTV01TQ1KPW

SVTV02TQ1KPW

SVTZ01TQ1KPW

WGSLNFC1L

WGSLSFC1M
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界***的 *** 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于 400°C (752°F) 的应用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一个询价?
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用 
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质  
  保持器 316 不锈钢  
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%  
运行条件： 压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
  工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
  

ENTEGRISWGPMOGGT21.00

ENTEGRISWGFGT1PR12.00过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG210.00过滤器

EntegrisWG2FT1SS23.00过滤器

EntegrisWG2FT1SS22.00过滤器

YY260103P，2个

PN2H010E1，2个

ENTEGRISWGMXMSRR41.00过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR22.00

EntegrisWG2FT1RR22.00过滤器

50多年来，ENTEGRIS的日常使命一直是帮助客户利用他们***的基于科学的解决方
案来支持需求 驱动程序。更快，更有效地进行创新;并最终改变世界。通过他们的解
决方案和技术专长的力量， Entegris为客户提供基于科学的创新解决方案，以应对
严峻的技术挑战。ENTEGRIS的总部位于 马萨诸塞州的比勒里卡，在全球拥有大约
5100名员工，大约一半在亚太地区或欧洲工作。通过在 亚太地区，北美和欧洲的研
发，客户服务，分析实验室和制造，ENTEGRIS在将技术提升到更高水 平时为全球
客户提供支持。

。

美国ENTEGRIS Wafergard II SF半在线气体过滤器
①当所有不锈钢结构时，Wafergard II SF半在线气体过滤器是高纯度气体系统
的过滤器 。
②***的外壳组件通过最小化焊接面积消除了脱气现象。
③全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择。
④其紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供的设计效率，并降低工程成本。

美国ENTEGRIS Gasketgard?在线垫片过滤器
①Gasketgard 直列式垫片过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可代替标准的1/4“
，3/8”和1/2 “VCR 垫片
②固定器，易于对准
③专为轻松插入标准气体管线而设计
④高压和高温应用的理想选择
⑤保护关键组件免受微粒伤害
⑥***认证的工厂中制造

PART NUMBERS

Chemlock? Filter Housings Part Numbers

Hide Part Numbers 

YY5605153    YY5605203    YY5611153    YY5611153GF    
YY5611153T
YY5611160    YY5611160T    YY5611170    YY5611170GF    
YY5611170T
YY5611180    YY5611180GF    YY5611180T    
YY5611190GFM    YY5611190M
YY5611203    YY561120A    YY561120B    YY561120E    
YY561120F
YY561120P    YY5611213    YY561121F    YY561121P    
YY5611250
YY5611250GF    YY5611250T    YY5611253    YY5611253GF    
YY5611253T
YY5611280    YY5611280GF    YY5611280T    
YY5611290GFM    YY5611290M
YY5611G03    YY5611G0B    YY5611G0E    YY5611G0F    
YY5611G0P
YY5611G13    YY5611G1E    YY5611G1F    YY5611G1P    
YY562010NS
YY5620160    YY5620160T    YY5620170    YY5620170GF    
YY5620170T
YY5620180    YY5620180GF    YY5620180T    
YY5620190GFM    YY5620190M
YY5620190TM    YY5620203    YY562020B    YY562020E    
YY562020F
YY562020P    YY5620213    YY562021F    YY562021P    
YY5620250
YY5620250GF    YY5620250T    YY5620253    YY5620253GF    
YY5620253T
YY5620280    YY5620280GF    YY5620280T    
YY5620290GFM    YY5620290M
YY5620290TM    YY5620G0E    YY5620G0F    YY5620G1F    
YY5620G1P
YY5630280    YY5630280GF    YY56H000B    YY56HA20A    
YY56HB20B
YY56HB24B    YY56HF10F    YY56HF14F    YY56HF20F    
YY56HF24F
YY56HL10LM    YY56HL14LM    YY56HL20LM    YY56HL24LM    
YY56HP103
YY56HP143    YY56HP203    YY56HP20P    YY56HP243    
YY56HP24P
YY6610A2E    YY6610F4E    YY6610R5E    YY6614F4E    
YY6614U1E
YY6614U2E    YY6620A2E    YY6620A4AE    YY6620F4E    
YY6620R5E
YY6624F4E    YY66B1150    YY66B1170    YY66B1280    
YY66B2150
YY66B2170    YY66B2280    YY66H0A2A    YY66H0F4F    
YY66H0R2R
YY66H4F4F    YY66H4U1A    YY66H4U2A

PFA模型
材料头、模制配件、碗、塞子PFA 440 HP或同等产品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非润湿锁环
通用锁环PVDF或GFPP（玻璃填充聚丙烯）
聚四氟乙烯
安装硬件-螺母和螺栓（非湿部件）PVDF
流体连接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、
管件、FNPT
药筒连接代码0，双2-222 O型圈和带钥匙的Chemlock药筒
操作条件PVDF和GFPP锁环
zui大入口压力：
100°C（212°F）时为0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）时为0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）的PTFE锁环
zui大入口压力：
95°C（203°F）时为0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）时为0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）
zui高工作温度：
100°C（212°F）zui高工作温度：
95摄氏度（203华氏度）
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所有其他O型圈
28.5牛顿?米
使用Chemlock扭矩扳手验证扭矩规格
PP模型
材料头和碗聚丙烯（PP）
O型圈EPR，氟橡胶
PVDF非润湿锁环
流体连接件FNPT、Flaretek、Union、Rc
药筒连接代码0，双2-222 O型圈和带钥匙的Chemlock药筒
操作条件标准排水口配置
zui大入口压力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.69 MPa（6.9 bar，100 psi）@25°C（77°F）1“FNPT排水口配置
zui大入口压力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.55兆帕（5.5巴，80磅/平方英寸）@25°C（77°F）
zui高工作温度：
90°C（194°F）zui高工作温度：
90摄氏度（194华氏度）
扭矩（所有O型圈）28.5 N?m
使用Chemlock扭矩扳手验证扭矩规格
EntegrisWG2FT1RR21.00过滤器

EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器

EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）2.00

ENTEGRISWG3NSMSL22.00过滤器

ENTEGRISWG3NSMSL22.00

ENTEGRISWG3NSMSL24.00

ENTEGRISCBUG0S0S12.00过滤器

ENTEGRISWG3NS8RR21.00过滤器

ENTEGRISWGMXMPRR42.00

ENTEGRISWGMXMPSS32.00

ENTEGRISWG2F02RR42.00

ENTEGRISWGFGT1PR130.00过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器

ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器

ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0过滤器

CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，

CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF

，、

CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，
CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，
CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，
CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，
CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，
CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF

，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，
CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，
CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE
，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，
EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，
GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，
GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，
GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，
GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，
GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，
GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，
GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，
GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，
GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，
GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，
GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，
GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，
GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，
GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，
GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，
GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，
GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，
PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，
PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，
QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，
QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，
QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，
QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，
QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，
QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，
QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，
QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，
QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，
QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，
QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，
QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，
QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，
QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，
QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，
QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，
QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，
QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，
QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，
QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，

RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，
RGCV01P01，RGCV01PLT，RGCV02P01，RGCV03P01，RGCV0SP01，
RGCZ01P01，RGCZ01PLT，RGCZ02P01，RGCZ03P01，RGCZ0SP01，
RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，
RGDVHPXTH，RGDZHPS0F，RGDZHPX0F，RGDZHPXTH，TGCGATX01，
TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
TGDGATXLH，TGDGATXTF，TGDGATXTH，TGDGATXTW，WDFA40W0A，
WDFA40W0F，WDFA40W1F，WDFA40W2F，WDFA80PTF，WDFA80W0A，
WDFA80W0F，WDFA80W2F，WDFG40PSF，WDFG40PTF，WDFG40PTW，
WDFG40W0A，WDFG40W0F，WDFG40W1F，WDFG40W2F，WDFG80PSF，
WDFG80PTF，WDFG80PTW，WDFG80W0A，WDFG80W0F，WDFG80W2F，
WDFGATX0F，WDFV40PSF，WDFV40PTF，WDFV40PTW，WDFV40W0A，
WDFV40W0F，WDFV40W1F，WDFV40W2F，WDFV80PSF，WDFV80PTF，
WDFV80PTW，WDFV80W0A，WDFV80W0F，WDFV80W1F，WDFV80W2F，
WDFVATX0F，WDFVATX2F，WDFZ40PTF，WDFZ40W0A，WDFZ40W0F，
WDFZ40W1F，WDFZ40W2F，WDFZ80PTF，WDFZ80W0F，WDFZ80W1F，
WDFZ80W2F，WDFZATX0F，WDFZATX2F，WDPM0CP0F，WDPM0CP4F，
WDPM0CPSF，WGFA40P01，WGFA80P01，WGFG06D31，WGFG40P01，
WGFG80P01，WGFV40P01，WGFV80P01，WGFZ40P01，WGFZ80P01，
YY361010A，YY361014U，YY3610170，YY3610180，YY3610190，YY3610E0A
，YY3610E4U，YY361210A，YY3612170，YY362210A，YY362214U，
YY3622170，YY3622190，YY36HA20A，YY36HA24U，YY4010102，
YY4010104，YY4010106，YY4010108，YY40101A0，YY4110104，YY4110106
，YY411010A，YY411010B，YY411010L，YY411014B，YY4110160，
YY4110170，YY41101AL，YY411210A，YY411210B，YY411214B，YY4112160
，YY4112170，YY412210A，YY412210B，YY412214B，YY4122160，
YY4122170，YY41HA20A，YY41HB20B，YY41HB20L，YY41HB24B，
YY4510102，YY4510104，YY4510106，YY4510108，YY4510140，YY4510180
，YY4510190，YY45101A0，YY45S01B0，YY4600001，YY4600002，
YY4610102，YY4610108，YY461010A，YY461010B，YY461010F，YY461014B
，YY4610160，YY4610170，YY4610180，YY4610190，YY46101NB，
YY461030A，YY461034T，YY4610U0K，YY461204B，YY461210A，YY461210B
，YY461210F，YY461214B，YY4612160，YY4612170，YY4612180，
YY461230A，YY461234T，YY4612U0K，YY462010B，YY4620180，YY462200B
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，YY4622U0K，YY46B1F0F，YY46H000B，YY46H1F0F，YY464411F0F，
YY46HA20A，YY46HA30A，YY46HA34T

，YY46HB20B，YY46HB24B，YY46HF20F，YY46N020K，YY46S010A，
YY46S010B，YY46S010F，YY46S014B，YY46S0160，YY46S0170，YY46S0180
，YY46S0U0K，YY50010R3，YY5500001，YY5500004，YY5500005，
YY5500010，YY5500020，YY55P4000，YY55P8000，ABUG0L0M1，
ABUG0LEM1，ABUG0LKM1，ABUG0S0M1，ABUG0SEM1，ABUG0SKM1，
ABUV0L0M1，ABUV0LEM1，ABUV0LKM1，ABUV0S0M1，ABUV0SEM1，
ABUV0SKM1，ABUZ0L0M1，ABUZ0LEM1，ABUZ0LKM1，ABUZ0S0M1，
ABUZ0SEM1，ABUZ0SKM1，AHUV0L0M1，AHUV0LEM1，AHUV0LKM1，
AHUV0S0M1，AHUV0SEM1，AHUV0SKM1，AHUZ0L0M1，AHUZ0LEM1，
AHUZ0LKM1，AHUZ0S0M1，AHUZ0SEM1，AHUZ0SKM1，AMFT222E1，
AMFT222K1，AMFT332E1，AMFT332K1，AMFT442E1，AMFT442K1，
AMFT664E1，AMFT664K1，AMFT884E1，AMFT884K1，CBUG0L0S1，
CBUG0S0F1，CBUG0S0P1，CBUG0S0S1，CBUG16EL1，CBUG16KL1，
CBUG2L0F1，CBUG2L0P1，CBUG3L0F1，CBUG3L0P1，CBUG3L0S1，
CBUG3S0F1，CBUG40EL1，CBUG40KL1，CBUG40TL1，CBUG6S0P1，
CBUG8L0P1，CBUG8S0P1，CBUV0L0F1，CBUV0L0S1，CBUV0S0F1，
CBUV0S0P1，CBUV0S0S1，CBUV16EL1，CBUV16KL1，CBUV2L0F1，
CBUV2L0P1，CBUV3L0F1，CBUV3L0P1，CBUV3L0S1，CBUV40EL1，
CBUV40KL1，CBUV40TL1，CBUV6S0P1，CBUV8L0P1，CBUV8S0P1，
CBUZ0L0F1，CBUZ0L0S1，CBUZ0S0F1，CBUZ0S0P1，CBUZ0S0S1，
CBUZ16EL1，CBUZ16KL1，CBUZ2L0P1，CBUZ3L0P1，CBUZ3L0S1，
CBUZ40EL1，CBUZ40KL1，CBUZ40TL1，CBUZ6S0P1，CBUZ8L0P1，
CBUZ8S0P1，

CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，
CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，
CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，
CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，
CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，
CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，
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CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，
CWAG16KL1，CWAG3L0S1，CWAG400L1，CWAG40EL1，CWAG40EM1，
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CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，
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CWAZ40TL1，CWAZ8S1P1，CWUG00EL1，CWUG00PL1，CWUG0S0P1，
CWUG0S0S1，CWUG0S0S3，CWUG0S1S3，CWUG160L1，CWUG16EL2，
CWUG16EP2，CWUG16KL2，CWUG16PP2，CWUG2L0P1，CWUG3L0P1，
CWUG3L0S1，CWUG40EL1，CWUG40EM1，CWUG40EP1，CWUG40KL1，
CWUG40KM1，CWUG40TL1，CWUG6S0P1，CWUG8L0P1，CWUG8S0P1，
CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，
CWUV0S1S3，CWUV160L1，CWUV16EL2，CWUV16EP2，CWUV16KL2，
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CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，
CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，
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CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
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PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
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WGFG16D21，

WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
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WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
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WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40***，WGFV40T01，WGFZ04HP6，
WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，

W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013， 

ENTEGRISWGFGT1PR145.00过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT43.00过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG229.00过滤器

ENTEGRISWG2F02RR21.00

ENTEGRISWGFG21KP01.00过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR21.00过滤器
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

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ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器

ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR4    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NS8RR2    过滤器

ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

Entegris        WGMXMBRR4    过滤器

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Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMSRR2    

ENTEGRIS        LGMXFPSS4    

ENTEGRIS        WGMXMSRR2（无包装）    

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        CBUG0S0S1    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMPRR4    

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Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

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ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    

ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器

ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器

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ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

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ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        CBUG0S0S1    过滤器

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Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

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ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

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ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        CBUG0S0S1    过滤器

ENTEGRIS        WGMXMPRR4    

ENTEGRIS        WGMXMPSS3    

ENTEGRIS        WG2F02RR4    

Entegris        WG2FT1SS2    过滤器

ENTEGRIS        WG3NSMSL2    

ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    

ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

Entegris        WG2FT1RR2    过滤器

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1

EntegrisWG2FT1SS2

EntegrisWG2FT1SS2

ENTEGRISWGMXMSRR4

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2

EntegrisWG2FT1RR2

ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1

ENTEGRISWG3NS8RR2

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1

ENTEGRISWGPMOGGT2

进的外壳组件通过最小化焊接面积来消除除气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了极高的设计效率并限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温和动压应用
惰性和反应性气体
气柜和面板
阀组箱
挂钩
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用
产品规格
材料 滤膜 镍
  外壳，端盖 低硫316L不锈钢
初始下游清洁度 ≤0.03 个颗粒/升（≤1 个颗粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等级 ≥0.0015 微米
颗粒保留 Greater than 99.99999*** (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
  Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
  Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
 零件号
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸） 

ENTEGRIS    YY260103P    14381    滤壳

ENTEGRIS    PN2H010E1    14380    滤芯

ENTEGRIS    YY260103P    14381    滤壳

ENTEGRIS    PN2H010E1    14380    滤芯

Entegris    WGFGT1PR1    12027    过滤器

ENTEGRIS    WGFGT1PR1    12027    过滤器

ENTEGRIS    WG2F15HJJ6    21344    滤芯

ENTEGRIS    YY260103P    14381    滤壳

ENTEGRIS    PN2H010E1    14380    滤芯

ENTEGRIS    WGPMOGGT2    11700    

ENTEGRIS    WGPM0GGT4    12028    过滤器

ENTEGRIS    LGMXFPRR4    21160    

ENTEGRIS    WGPM0GGT4    12028    过滤器

Entegris    WG2SS8RR2    16