VG掩模对准曝光机EV6200 INFINITY EVG6200NT

EV Group NT系列

新型： EVG620NT , EVG6200NT

    EVG推出了***的EVG620NT和EVG6200NT系列曝光机——EVG620NT的曝光范围从最小5mm到150mm，EVG6200NT曝光范围从3英寸到200mm。EVGNT系列高质量的体现了新的技术发展水平，包括了一个花岗石底座，主动隔离防震平台和线性驱动位移马达使其可以达到更高的精度和产出。基于EVG灵活和多功能的曝光平台，在R&D和批量生产之间的工艺转换（手动模式到全自动）此新系统使用户可以轻松地得以实现。批量生产的实现和曝光精度的提高——达到0.1um，再加上实时曝光精度的检测系统（可选项），这样为用户提供了一个重要的更好的成本效益控制方案。