| 加工定制：否 | 品牌：EVG | 订货号：EVG-01 |
| 型号：EVG-03 | 货号：EVG-0086 | 电源电压：380V |
| 功率：1000W | 铝丝直径：25μm | 外形尺寸：1000mm |
| 重量：500kg | 规格：0.1nm 至 10mm（闭环无拼接） | 是否跨境货源：否 |
EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB
EVG805DB是一款半自动的解键合设备，用于将已加工完成的薄器件片从硅、蓝宝石或其它材料的承载片上分离。根据临时键合中间材质的不同，可使用不同的分离方法，如热解、滑移，剥离，紫外活化等。EVG805DB还可以匹配EVG的技术模块EZD，使硅片可以在室温下解键合。
二、应用范围
EVG805DB是一款主要用于薄基片加工领域键合分离设备。广泛应用于存储器，CMOS，3D-TSV，功率器件（如IGs），化合物半导体（如高亮度LEDs或RF功率放大器），以及其它新型需要薄片加工的领域（如MEMS，RFID-tags，柔性显示器等）。
三、主要特点
半自动工工艺处理
菜单控制
工艺参数实时监控
不同的卡盘设计用以支持不同规格的基片（300mm）
单独薄载片用以承接分离的器件基片
不同的解键合方法: 滑开，掀开，edge zone debond (EZD ), UV 辅助分离
亚科提供设备： 检测设备：原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪（白光干涉仪）、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、***衍射仪XRD、***荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪； 前道工艺设备：PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、 反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机； 微组装设备：粘片机（全自动和半自动）、键合机（全自动和半自动）、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等； LTCC设备：流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\等静压机\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等。 公司主营设备： 1. 整套半导体设备 2. 整套微组装设备 3. 整套SMT设备 4. LTCC线和线缆加工设备 北京亚科晨旭科技有限公司 地址：北京市朝阳区酒仙桥路甲12号电子城科技大厦14层1408室 葛女士 市场主管 电话：010-84799262-809 传真：010-84799265
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 1000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
| 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 | 法定代表人 | 彭辉 |
| 公司成立日期 | 2005-11-28 | 营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 |
| 经营范围 | 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
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