| 产品特性：光电 | 是否进口：否 | 产地：德国 |
| 类型：光电编码器 | 品牌：海德汉 | 型号：526974-15 |
| 读出方式：接触式 | 工作原理：增量式 | 外型尺寸：58mm |
选型ID：526974-15 光栅尺LS 187C 1540mm 海德汉
海德汉编码器：
德国海德汉heidenhain光栅尺，伺服电机编码器，旋转编码器，光栅尺，长度计，读数扫描头，，圆光栅磁栅鼓，和光栅尺电缆等优势产品备货供应，我司提供海德汉heidenhain全系列产品选型，咨询，选购，产品检测等服务
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| 参数分类 | 核心规格详情 | 专属设计亮点 |
|---|---|---|
| 光栅核心 | DIADUR 高精度相位玻璃光栅，光栅周期 20μm，热膨胀系数 8×10??K?? | 与机床铸铁 / 钢质基体热膨胀特性高度匹配，长行程下无温度累积误差；刻线精度远超钢带光栅，细分后可达 0.1μm 级分辨率，全程无精度损失 |
| 行程与精度 | 有效测量长度 1540mm，系统精度 ±5μm，总长度约 1700mm（含两端安装块） | 同超长行程段精度天花板级别规格，无行程末端精度衰减，适配超精密长行程加工与检测场景 |
| 壳体与导轨 | 双加强筋超高刚性大截面铝合金壳体，集成全行程无摩擦重载滚珠导轨 | 壳体刚性比同系列 1440mm 规格提升 55%，120m/min 高速运行、40m/s? 急加速工况下无谐振、无弯曲形变；导轨可补偿 ±2mm 安装平行度偏差，降低超大型设备安装门槛 |
| 动态性能 | 运行速度 120m/min，加速度 40m/s?，运行阻力≤4N | 适配超大型机床高动态进给需求，低运行阻力几乎不增加伺服系统额外负载，无机械磨损，使用寿命超 15 万小时 |
| 电气特性 | 标准 1VPP 正弦波增量信号输出，5V DC±5% 供电，14 针法兰公头接口 | 原生兼容全系列高端数控系统，支持 150m 长距离原装电缆布线，无需额外信号放大模块 |
| 防护等级 | 标准 IP53，配套 DA 400 吹扫气可升级至 IP64 | 双层耐磨弹性密封条 + 全金属密封壳体，抵御铁屑、冷却液、油污与粉尘侵蚀，适配恶劣工业环境 |
| 抗振性能 | 55–2000Hz 频段抗振≤200m/s?，抗冲击≤100m/s?（11ms） | 可承受重型切削加工的持续振动与瞬间冲击，无信号丢失、无精度漂移 |
光栅尺的应用
半导体设备（如晶圆光刻机、蚀刻机、晶圆搬运机械臂）对定位精度要求达到纳米级，海德汉光栅尺作为核心位移检测元件，承担晶圆台运动定位、光刻镜头调节、晶圆搬运精准对位的关键职责。其凭借光刻技术实现的超高精度与信号稳定性，能在洁净、低干扰的半导体生产环境中，为设备提供稳定的位置反馈，确保晶圆加工的尺寸精度与一致性，是半导体制造过程中不可或缺的核心部件。
光栅尺工作原理 半导体专用海德汉光栅尺采用超高精度光学扫描原理，标尺光栅刻线密度可达10000线/mm以上，配合32倍频技术，可实现纳米级位移检测。当晶圆台驱动轴或机械臂导轨运动时，标尺光栅同步运动，与指示光栅形成的莫尔条纹光信号经高精度光电检测阵列转换为电信号，再通过专用低噪声信号处理电路进行整形、放大与差分处理，输出稳定脉冲信号。控制系统通过对脉冲信号的高精度计数，换算出纳米级位移量，实现晶圆台的精准定位。针对半导体设备的低干扰需求，产品采用全屏蔽封装，进一步降低电磁干扰影响。
光栅尺参数匹配
1.参数选型：选择海德汉LS 700系列（刻线密度10000线/mm，精度等级±0.1μm），支持32倍频技术，输出信号为TTL差分，运动速度10m/min；防护等级选用IP65，适应半导体洁净室环境。
2.信号适配：匹配半导体设备专用控制器，确保信号传输延迟≤1μs，满足高速定位需求；采用海德汉专用低噪声屏蔽电缆，减少信号传输过程中的干扰。
3. 运行监控：建立高精度监控机制，实时采集光栅尺反馈数据，设定位移偏差阈值≤0.01μm，出现异常立即停机保护，避免晶圆损坏。
安装规范
1.安装位置：安装在设备内部密封区域，远离粉尘产生源与热源，加装隔热、防尘双效防护罩；避免安装在设备振动源附近，必要时加装减震基座。
2.机械安装：采用海德汉超精密安装支架，确保标尺光栅与运动方向平行度偏差≤0.001mm；安装面经研磨加工，平面度≤0.005mm，用扭矩扳手按规定力矩（0.4-0.6N·m）均匀紧固，避免外壳变形。
3. 布线防护：电缆采用耐洁净室清洁剂的屏蔽双绞电缆，沿设备内部专用线槽固定，避免交叉布线；接头处采用密封式航空插头，做好绝缘处理，防止洁净室气流携带的微尘进入。
光栅尺保养 1. 日常维护：每日用洁净室专用无尘布擦拭光栅尺外壳与防护罩，避免微尘附着；每周检查电缆连接状态，确保无松动、破损。2. 定期检测：每月用海德汉专用校准工具检测零位精度与位移偏差，及时通过控制器进行补偿；每季度用示波器检测信号波形，确保无杂波干扰。3. 深度维护：每半年由专业人员在洁净环境下拆解检查，用专用清洁剂清洁标尺光栅与光学窗口；每年更换一次防护罩密封件与电缆接头，确保密封性能。4. 故障处理：若出现定位精度偏差，优先检查光栅尺安装平行度与标尺清洁度；若信号异常，检查电缆与屏蔽层接地情况，必要时更换海德汉原厂备件。
光栅尺读数头 AE LS 187C ID:594878-01
编码器 ROD 480 1024 03S12-03K ID:376880-78
光栅尺 LC 483 ML 720mm ID:557649-14
光栅尺 LB 382C ML 2240mm ID:315418-10
编码器 ROD 426 1024 27S12-03 ID:387287-09
光栅尺 LC 183 ML 940mm ID:557679-09
光栅尺 LS 487C ML 1240mm ID:572249-12
光栅尺适配电缆 APK 02 3m ID:533631-03
光栅尺 LS 186C ML 1040mm ID:336963-21
编码器 ERN 1387 2048 03S17-58 ID:730435-01（替代型号 518703-01）
编码器电缆 ID:310573-03
光栅尺 LC 183 ML 1040mm ID:557679-10
滤芯 ID:337481-01
编码器 ROD 430 2048 27S12-03 ID:385480-06
光栅尺 LC 183 ML 2440mm ID:557680-42
转接电缆 3m ID:545547-03
编码器 ROD 436 2048 27S12-03 ID:376856-4G
光栅读数头 AK ERA 4480 ID:533903-17
编码器 ERN 1381 2048 03S12-03 ID:266657-07
连接器插头 ID:291697-05
光栅尺读数头 AELS 487 ID:594875-02
光栅尺尺壳 LB 302 ML 1040mm ID:315423-06
关于产品发货
现货当天发出，默认京东快递或者顺丰快递
关于产品服务
提供从我司所购产品的，产品选型配套，指导安装以及售后服务
质保期多久
厂家质保十二个月，非人为损坏，厂家提供专业检测及维修服务
上海奇控电气有限公司主要经营以下产品： SICK西克/施克 旋转编码器 接近开关 光电开关 激光测距仪 激光雷达 色标传感器 直线位移传感器 Baumer HUBNER 宝盟 堡盟 泰尔汉姆 IVO 旋转编码器工程机械 起重设备配套 重载编码器 经济型编码器 霍伯纳柏林系列重载编码器 SCANCON 斯堪纳 施康科 旋转编码器 工业编码器 HEIDENHAIN 海德汉编码器 光栅尺 长度计 读数头 LEINELINDE 林德 莱茵林德 莱纳林德编码器 MEYLE 梅尔编码器 BEISENSORS 艾迪克编码器 美国产BEI编码器用于工程机械 包装 法国产编码器应用钢铁 包装 造纸 起重 TWK 旋转编码器 直线位移传感器 POSITAL FRABA 博斯特编码器 SEVNER 森纳旋转编码器 RAIENTEC 编码器 以上品牌产品，我司提供产品选型推荐，售后技术支持，产品销售，常用型号现货供应！
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 上海市嘉定区南翔镇蕰北公路1755弄5号3层B区3002室 | 统一社会信用代码 | 9131011456958563X5 |
| 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 | 法定代表人 | 王忠 |
| 公司成立日期 | 2011-02-16 | 营业期限 | 2011-02-16 至 2041-02-15 |
| 经营范围 | 一般项目：电气设备销售；机械设备销售；电子产品销售；仪器仪表销售；办公设备销售；制冷、空调设备销售；计算机软硬件及辅助设备批发；工业控制计算机及系统销售；五金产品批发；化工产品销售（不含许可类化工产品）；电子元器件与机电组件设备销售；移动终端设备销售；安防设备销售；智能家庭消费设备销售；建筑材料销售；建筑装饰材料销售；日用百货销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；企业管理咨询；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：货物进出口；技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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