| 加工定制:是 | 品牌:EVG | 型号:EVG?610 |
| 用途:光电显示滤光片纳米压印 | 订货号:EVG?610 | 货号:EVG?610 |
| 别名: 紫外线纳米压印光刻系统 | 规格:齐全 | 是否跨境货源:否 |
光刻设备、掩膜对准、科研设备供应
EVG?610 紫外线纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统,从小件到150毫米
技术数据
该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并且可以选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键合对齐和纳米压印光刻(NIL)。
EVG610提供快速的处理和重新安装工具,以改变用户需求,光刻和NIL之间的转换时间仅为几分钟。其***的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求,因此使其非常适合大学和研发应用。
对于压印工艺,EVG610允许基板的范围从小芯片尺寸到直径150毫米。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括邮票的释放机制。 EV Group***卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的印记,该卡盘支持软性和硬性印模。
特征
顶侧和底侧对齐能力
高精度对准台
自动楔形误差补偿机制
电动和配方控制的曝光间隙
支持***的UV-LED技术
最小化系统占地面积和设施要求
分步流程指导
远程技术支持
多用户概念(***数量的用户帐户和配方,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
敏捷处理和光刻工艺之间的转换; 台式或带防震花岗岩台的单机版
附加功能:键对齐、红外对准、纳米压印光刻、?接触印刷
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 1000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室 | 统一社会信用代码 | 913101147743437873 |
| 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 | 法定代表人 | 彭波 |
| 公司成立日期 | 2005-04-26 | 营业期限 | 2005-04-26 至 2045-04-25 |
| 经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;会议及展览服务;组织文化艺术交流活动;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);机械设备销售;电子产品销售;建筑材料销售;货物进出口;技术进出口;进出口代理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) | ||
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