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光刻设备、掩膜对准、科研设备供应

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  • 发货地上海 徐汇区
  • 发货期限不限
  • 供货总量100台
产品推荐
加工定制:是品牌:EVG型号:EVG?610
用途:光电显示滤光片纳米压印订货号:EVG?610 货号:EVG?610
别名: 紫外线纳米压印光刻系统规格:齐全是否跨境货源:否
光刻设备、掩膜对准、科研设备供应

EVG?610  紫外线纳米压印光刻系统

 

具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统,从小件到150毫米

 

技术数据

该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并且可以选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键合对齐和纳米压印光刻(NIL)。

EVG610提供快速的处理和重新安装工具,以改变用户需求,光刻和NIL之间的转换时间仅为几分钟。其***的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求,因此使其非常适合大学和研发应用。

对于压印工艺,EVG610允许基板的范围从小芯片尺寸到直径150毫米。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括邮票的释放机制。 EV Group***卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的印记,该卡盘支持软性和硬性印模。

 

 

特征

顶侧和底侧对齐能力

高精度对准台

自动楔形误差补偿机制

电动和配方控制的曝光间隙

支持***的UV-LED技术

最小化系统占地面积和设施要求

分步流程指导

远程技术支持

多用户概念(***数量的用户帐户和配方,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)

敏捷处理和光刻工艺之间的转换;      台式或带防震花岗岩台的单机版

附加功能:键对齐、红外对准、纳米压印光刻、?接触印刷

 


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上海银雀电子科技发展有限公司,自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务。

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 注册资本 1000.00万人民币
公司注册地址 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室 统一社会信用代码 913101147743437873
登记机关 嘉定区市场监督管理局 法定代表人 彭波
公司成立日期 2005-04-26 营业期限 2005-04-26 至 2045-04-25
经营范围 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;会议及展览服务;组织文化艺术交流活动;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);机械设备销售;电子产品销售;建筑材料销售;货物进出口;技术进出口;进出口代理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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