| 产品特性:高速响应 | 是否进口:否 | 产地:日本 |
| 加工定制:否 | 品牌:LINTEC琳得科 | 型号:MC-700 |
| 测量范围:10sccm~200slm | 测量精度:±1.0% S.P. | 产品适用范围:半导体工艺 |
核心规格(速览)
响应时间:100ms(典型)/200ms()
流量精度:±1.0% S.P.(设***)
流量范围(N?换算):
MC-7100CP:10~5,000sccm
MC-7200CP:~20slm
MC-7250CP:~50slm
MC-7460CP:~150slm
MC-7470CP:~200slm
工作温度:5~50℃
密封材质:SUS316L 金属密封(适配腐蚀性气体)
通信接口:DeviceNet(MC-7000D)、EtherCAT(MC-7000CP,符合 ETG.5003)
电源:DC24V(-15%/+20%)
压力特性:压力不敏感(PI-MFC),抗供给压力波动
补偿功能:内置温度补偿传感器
环保合规:RoHS 对应
关键技术特点
非接触热式传感:传感器不接触气体,耐腐蚀、无污染,适配刻蚀 / 沉积等工艺气体。
压电控制阀:高速动作,实现毫秒级流量稳定,适合 ALD 等短周期脉冲工艺。
洁净等级:无尘设计(粒子标准监控),满足半导体高洁净环境。
多通信适配:支持工业总线,易集成至自动化产线。
典型应用
半导体:ALD、CVD、刻蚀、扩散工艺
精密成膜:OLED、光伏、光学涂层
科研:快速气体切换、动态流量控制实验
山金工业(深圳)有限公司成立于2023年05月22日,注册地位于深圳市龙华区龙华街道景龙社区东环一路250号华联大厦801,法定代表人为罗玲玲。经营范围包括实验分析仪器销售;仪器仪表销售;电气设备销售;机械设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);计量技术服务;仪器仪表修理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;信息技术咨询服务;租赁服务(不含许可类租赁服务);机械设备租赁;电子测量仪器销售;衡器销售;软件开发;信息系统集成服务;安全系统监控服务;安全咨询服务;数字视频监控系统制造;数字视频监控系统销售;计算机系统服务;衡器制造;集成电路制造;物联网设备制造;电子测量仪器制造;电子、机械设备维护(不含特种设备);包装专用设备制造;包装专用设备销售;集成电路销售;物联网设备销售;宠物食品及用品批发;宠物食品及用品零售;塑料制品销售;包装材料及制品销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)进出口代理;技术进出口;货物进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司 | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 深圳市龙华区龙华街道景龙社区东环一路250号华联大厦801 | 统一社会信用代码 | 91440300MA5HWJ0U3C |
| 登记机关 | 深圳市市场监督管理局 | 法定代表人 | 罗玲玲 |
| 公司成立日期 | 2023-05-22 | 营业期限 | 2023-05-22 至 无固定期限 |
| 经营范围 | 实验分析仪器销售;仪器仪表销售;电气设备销售;机械设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);计量技术服务;仪器仪表修理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;信息技术咨询服务;租赁服务(不含许可类租赁服务);机械设备租赁;电子测量仪器销售;衡器销售;软件开发;信息系统集成服务;安全系统监控服务;安全咨询服务;数字视频监控系统制造;数字视频监控系统销售;计算机系统服务;衡器制造;集成电路制造;物联网设备制造;电子测量仪器制造;电子、机械设备维护(不含特种设备);包装专用设备制造;包装专用设备销售;集成电路销售;物联网设备销售;宠物食品及用品批发;宠物食品及用品零售;塑料制品销售;包装材料及制品销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)进出口代理;技术进出口;货物进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) | ||



