四箱体独立控温烘箱

一、产品简介

四箱体独立控温烘箱，专为半导体制程、锂电新能源、高校科研院所量身非标定制。设备采用四腔体完全隔离设计，四路独立加热、独立风道、独立温控、独立控制系统，四腔互不串温、互不干扰。

一机替代四台单门烘箱，节省车间与实验室空间，降低采购及用电成本，可按需选配洁净、充氮、真空、防爆功能，同时满足工业量产烘烤、多组平行科研实验双重需求。

二、产品核心性能优势

1. 四腔独立分区运行，多工艺同步作业

常规单腔体烘箱仅支持单一温度运行，无法同步开展多组差异化烘烤工艺，分批作业效率低下，且腔体热风互通易造成样品温场交叉干扰，直接影响生产良率与实验数据准确性。本机四腔体物理完全隔离，四路风道、加热、温控系统互不连通，四个腔体可独立设定温度、保温时长与升温曲线，四组工艺同步运行，全程无串温、无干扰，保障每一批样品烘烤环境稳定一致。

2. 一体化集成机身，降本省空间

半导体车间、锂电产线及科研实验室空间资源紧张，采购多台独立烘箱不仅占用大量摆放空间，分体供电运行能耗更高，后续设备检修、线路维护工作量大，整体投入成本居高不下。本机一体化整机结构，占地面积仅为四台单腔烘箱的1/3，共用整机供电系统，综合能耗降低40%，一台设备即可替代四台单机，大幅节省场地、用电、人工及设备采购多重成本。

3. 洁净无氧工况，适配半导体精密烘烤

半导体晶圆、光刻胶、芯片封装等精密元器件，烘烤过程极易受空气中粉尘、氧气影响，出现表面污染、元器件氧化报废问题，普通民用及通用工业烘箱无法满足半导体无尘无氧生产标准。本机可定制百级/千级洁净风道，搭配独立充氮除氧模块，腔体氧含量可控低至50ppm以内，整机做防静电处理，契合SEMI半导体行业规范，***适配精密芯片制程烘烤需求。

4. 科研级高精度温控，实验数据可追溯

高校实验室、科研研究所开展平行对照实验、材料老化测试，对温控精度、实验数据留存要求严苛，普通烘箱温控误差偏大，无温度曲线记录功能，实验数据无法用于科研论文撰写与项目结题验收。本机搭载高精度PID温控模块，控温精度±0.1℃，腔体温场均匀度优异，支持多段程序控温，自带数据存储导出功能，全程记录温度变化曲线，实验数据完整可查，完全匹配科研项目验收标准。

三、三大行业适用场景

半导体行业

适用：晶圆烘烤、光刻胶固化、PI膜固化、芯片封装、MEMS器件烘干

选配：洁净风道、独立充氮、防静电系统

锂电新能源行业

适用：极片干燥、电芯真空脱水、电极材料烘烤、极耳除湿

选配：独立真空、整机防爆、密闭无氧腔体

高校/科研研究所

适用：平行对照实验、材料老化测试、多变量样品恒温烘烤

选配：分段程序控温、实验数据导出、非标尺寸定制

四、产品核心亮点

四腔独立隔离：风路、加热、温控完全分开，防止串温干扰

精密PID控温：控温精准，升温平稳无超调，适配高端实验与工业制程

优质内胆材质：304不锈钢内胆，耐腐蚀耐高温，不污染精密样品

多重安全防护：开门断电、超温过载保护，支持长时间无人值守

全尺寸非标定制：腔体大小、温度范围、功能配置均可按需定做