核心参数

型号：TGkine1704M?B（1700 系列，4 = 排气口 KF40）

吸气口：***?B200 / VG200

排气口：KF40（1705M?B 为 KF50）

抽速 N?：1650 L/s（带保护网 1570 L/s）

抽速 H?：1550 L/s

极限真空：＜2×10?? Pa（48h 烘烤后）

压缩比 N?：＞2×10?；H?：3×10?

气体流量：N? 4400 sccm；Ar 2600 sccm

启动 / 停止时间：≤10 min

允许前级压力：220 Pa

推荐前级泵：≥2000 L/min

冷却：水冷

电源：AC200–240V 单相 50/60Hz

功耗：Max 5.3 kW；待机 0.9 kW

重量：65 kg

安装姿态：任意（垂直 / 水平 / 倒置）

防护：IP54

通信：标配 RS232C，可选 EtherCAT

认证：CE / NRTL / SEMI?S2

主要特点

一体化设计：泵体 + 控制器 / 电源集成，无需控制器机架，节省空间与布线。

磁悬浮轴承：5 轴电磁悬浮，无接触、无油、低振动 / 噪音，寿命 ＞10 万小时。

大抽速 + 高流量：1650 L/s、N? 4400 sccm，适配高负载连续工艺。

灵活安装：任意姿态安装，适配复杂设备布局。

工业级可靠：IP54、SEMI?S2，适配半导体 / FPD / 太阳能 / 光学镀膜 / 加速器等。