人机交互界面图形化，与设备的结构相匹配，为操作者提供了直观、全面、系统的可视化图形操作和监测方式。人机交互界面实时显示设备的过程控制状态和运行数据，自动记录时间、温

度、真空度等运行数据，并且可以查询历史数据记录。在人机交互界面直接编辑、修改温控工艺曲线，以及其它的运行工艺参数。

工艺曲线具有编制、修改、删除、存取、显示工艺程序或工艺曲线的功能。具有运行、控制、报警、数据实时采集、存储和在任意时间查询、显示、导出功能。系统为不同权限使用者提供了不同层级权限的进入设置。在人机交互界面有***报警显示和报警记录功能。人机交互界面与按钮操作互为冗余配置，具有互斥锁定操作功能，防止误操作。在 PLC 程序中，有***设备动作互锁保护功能。在 PLC 程序中，实现手动运行和自动运行方式的无缝切换。终身免费升级控制软件，系统的设计符合当前***和规定，系统中无隐蔽设备、模块或者恶意软件，***工控机和数据信息安全。

4.报警系统:设备对于超温、温度偏差大、缺水报警、真空度不足、氮气压力不足等异常情况进行声光报警，并执行相应的保护措施。其中，针对超温和缺水故障出现时，首先给予一定的预警***，若在预警***内未能排除故障，则立即执行保护措施。电气执行装置配有短路保护，所有电机都配备过载保护装置。

二【设备技术参数】