五氧化三钛Ti3O5：主要得益于其高折射率、良好的附着力、低电阻、成膜后表面光洁度佳等特性。

一、主要光学应用

增透膜（AR Coatings）：用于减少光学元件表面反射，提高透光率，广泛应用于镜头、显示屏等。

分光镜与冷光膜：实现特定波长的光反射或透射，用于照明、成像系统。

高反膜：在激光和精密光学系统中实现高反射率。

多层膜结构：作为高折射率材料与其他低折射率材料（如SiO?）组合，构建高性能干涉滤光片。

眼镜镀膜与太阳镜：提升耐磨性、抗反射性和视觉清晰度。

手机摄像头与面板玻璃镀膜：满足消费电子对小型化、高性能光学元件的需求。

二、材料形式与工艺特点

常见形态：晶体颗粒（1–3 mm 或 3–5 mm，紫黑色）或烧结压片。

沉积方式：通常采用电子束蒸发（电子枪蒸镀），蒸发温度约 1800–2000 °C。

优势：相比传统TiO?膜料，Ti?O?放气量小、不易溅射，能获得折射率更稳定、膜厚均匀的高质量薄膜