本产品为FFKM全氟醚橡胶密封件，采用***的CVD表面处理技术，在弹性体表面形成纳米级功能层。与传统湿法涂层相比，涂层更薄更均匀，可处理复杂几何形状制品，适用于高洁净度半导体应用环境。

· 工艺说明： 通过离子轰击方式在密封件表面形成改性层，工艺过程洁净环保，不引入有害化学物质。处理温度可控，不损伤FFKM基材性能，适用于O型圈、异形密封件等各种形态。

· 应用领域： 适用于半导体等离子体刻蚀、薄膜沉积等对密封件低粘滞性要求极高的工艺环境，以及真空腔体、气体管路、阀体等动态或静态密封场合，有效延长维护间隔时间。