产品实拍

产品特色

• 产品作用：

• # AMAT 0190-37798 联锁模块（精简 15 点）

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• 1、适配 AMAT Producer SE/E 刻蚀 / 薄膜机台，MKS 原厂联锁控制单元

• 2、采集腔体门、真空阀、急停、压力安全开关信号

• 3、硬件硬联锁逻辑，异常瞬间切断射频、气源、加热电源

• 4、光耦隔离输入输出，隔绝工艺腔电磁干扰

• 5、多路继电器输出，联动阀组、真空泵、载台停机动作

• 6、独立通道状态灯，快速定位门锁 / 真空 / 气源故障点

• 7、实时向设备主控上传安全状态，触发机台报警锁机

• 8、内置过流、静电保护，单通道故障不影响整机联锁回路

• 9、24V 标准工业供电，适配洁净车间电网波动

• 10、金属密封壳体防尘防潮，长期无尘车间稳定运行

• 11、自带故障代码缓存，维修快速排查联锁异常

• 12、标准插拔接口，机柜拆装更换无需改动布线

• 13、抗震加固元器件，耐受机台长期震动工况

• 14、参数断电记忆，重启后安全逻辑无需重新配置

• 15、同型号原装直换，替换后不用重写设备安全程序

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• AMAT 0190-37798 是半导体工艺设备核心安全防护联锁备件。

企业介绍

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组 ，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)

售后说明

• 物流配送

• 我们使用顺丰快递/德邦快递

• 付款方式

• 对公付款，全款到账发货

• 退换货政策

• 所有产品享受一年保修期

• 票据制度

• 可开具增值税发票