在纳米级制程成为主流的今天，芯片制造的成败往往系于一个容易被忽视的变量——设备水平度。光刻机晶圆台哪怕仅0.001°的倾斜，都可能导致曝光图案畸变，直接冲击良率。

Digi-Pas DWL8500XY双轴超精密水平仪，正是为破解这一精度困局而生。凭借核心参数所定义的硬核性能，它已成为半导体制造不可或缺的“水平卫士”。

超高精度，守住良率生命线

DWL8500XY拥有1角秒（arcsec）的超高分辨率与精度，相当于在1米长度上能检测出仅5微米（μm） 的倾斜变化。在0~1080角秒的关键测量区间内，精度严格控制在±1角秒，其他角度范围精度亦达±3角秒。这一精度等级可将光刻机工作台倾斜精准调整至≤0.001°，确保EUV/DUV光刻的成像质量。

双轴同步+远程监控，效率成倍跃升

传统单轴水平仪需反复测量X/Y轴，耗时费力。DWL8500XY采用美国***双轴同步测量技术，可同时显示X/Y轴倾斜角度，配合2D“牛眼”靶心图形界面，调整方向一目了然。通过蓝牙（Class 1，＞30米） 或USB连接PC软件，工程师在中央控制室即可远程实时监测设备水平状态，数据自动记录，为全生命周期管理提供完整档案-4。某国际芯片企业在ASML光刻机定期检测中应用后，维护时间缩短40%，因水平问题导致的晶圆报废率下降近60%。

一机多能，综合诊断

DWL8500XY内置振动计（Vibrometer），可实时监测2-75Hz低频振动，在刻蚀工艺中帮助工程师锁定真空泵轴承早期故障，避免突发停机损失。配合PC同步软件，还可进行3D表面几何轮廓分析，为设备验收和质量鉴定提供量化依据。

***，计量溯源

DWL8500XY精度已获NIST（美国）、JIS（日本）、UKAS（英国）、DIN（德国） 等国际***，确保全球计量溯源性。工作温度范围覆盖+10°C至+40°C，经温度补偿设计，适应半导体工厂复杂环境。

Digi-Pas DWL8500XY——以精度定义良率，以效率创造价值。