M100-150L 是福乐 M100 杠杆锁系列 6 寸专用手动晶圆夹，和前面 C/F 系列真空镊子区别：纯机械式夹持，不需要任何真空源，适合无气源工位、样品抽检、产线应急晶圆搬运。 采用杠杆棘轮锁止机构，夹持晶圆后拨动锁杆即可锁定夹持力度，手松开依然保持夹紧，长距离***无需持续用力，减轻手部疲劳，夹持一致性不受人手力度差异影响。 两点外缘夹持设计，卡爪只接触晶圆边缘，完全避开晶圆正面器件图形区；夹持端头光学抛光，低微粒产生，降低划伤、崩边风险，内置限位挡块，防止晶圆滑移脱落。 整机一体 PEEK 材质，不含金属零件、无胶水析出，连续耐温可达 130℃，耐受异丙醇、丙酮等常见有机溶剂，满足 Class100 洁净室标准。同系列还有 E100-150 导电 PEEK 防静电版本，ESD 敏感场景选用 E 型号。 轻量化机身仅 71g，全长 185mm，单手即可操作。适合硅晶圆、碳化硅、化合物半导体基板干法取放；不适合药液浸泡湿法工况。

核心参数

型号：M100-150L（M100 杠杆锁系列） 适用晶圆：6 英寸（150mm） 材质：本色 PEEK（聚醚醚酮） 夹持方式：两点外缘夹持，杠杆棘轮锁止 晶圆边缘接触宽度：顶部 3.0mm，底部 6.0mm 整机长度：185mm 重量：71g 连续耐温：130℃ 洁净特性：无金属、无胶水析出，低发尘 配套要求：无需真空泵、气源、电源 适用工件：6 寸硅片、碳化硅基板、化合物半导体基板 应用环境：干式百级洁净室，实验室取样、晶圆***、产线应急取片

核心优势

1. 纯机械杠杆锁结构，无需气源泵体，现场使用不受设备限制

2. 外缘夹持，只接触晶圆侧边，保护正面光刻图形，避免器件损伤

3. 锁止保压，锁定后松手不掉片，长距离***省力稳定

4. 全 PEEK 材质，耐高温，耐受常规有机溶剂，低微粒无污染

5. 内置限位挡块，防止晶圆滑移，降低崩边风险

6. 轻量化设计，单手操作，上手简单，维护成本低