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多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。***代表性的泵之一是罗茨式干真空泵通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性

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  • ¥7.2万

    1 - 4台

  • ¥5.2万

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黄女士销售经理
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  • 发货地广东 深圳
  • 发货期限15天内发货
  • 供货总量5台
产品推荐
产品特性:多级罗茨型类型:多级罗茨型品牌:日本ULVAC爱发科
型号:LR1800材质:铝合金用途:化工泵
原理:罗茨泵真空度:超高真空度驱动方式:磁力
性能:高压输送介质:清水泵重量:545kg
电压:220V
精品现货日本ULVAC爱发科LR1800多级罗茨型干泵 现货!!!


特点

  • 低温区域均热化(Model:LR)
    在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。

  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。

  • 出色的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。



用途

  • 成膜装置(溅射装置/蒸镀装置等)

  • 缩短备料下料室的排气时间

  • 作为辅助排气泵(涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气)



型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
机械
增压泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)

排气
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力0.67 Pa
排气压力
(吸入圧力)
大气压
排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
电源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
值9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水
一次压力
0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水
出入口压差
>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次
压力
0.1~0.5 MPa
二次
压力
0.05~0.1 MPa
N2
吹扫
轴5 SLM
气镇0~45 SLM没有 *30~45 SLM没有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
*2 请订购时***。
*3 根据用途,使用气镇的规格也可报价。


供应商信息
公司图片
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玉崎科学仪器(深圳)有限公司是日本科学器機株式会社全资设立的中国子公司,专业从事国内贸易/国际贸易业务,主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化多类上万种产品的销售。公司凭借优良的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流体系,科学严谨的产品质量,专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及各方位的技术支持

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企业类型 有限责任公司 注册资本 200.00万
公司注册地址 深圳市龙华区龙华街道松和社区龙华大道3698号泽华大厦802 统一社会信用代码 91440300MADKGL0F6H
登记机关 深圳市市场监督管理局 法定代表人 张申凤
公司成立日期 2024-04-29 营业期限 长期
经营范围 一般经营项目:实验分析仪器销售;智能仪器仪表销售;电工仪器仪表销售;配电开关控制设备销售;环境监测专用仪器仪表销售;温室气体排放控制技术研发;安全系统监控服务;家具销售;环境保护专用设备销售;第一类医疗设备租赁;计算机软硬件及辅助设备零售;住宅水电安装维护服务;金属表面处理及热处理加工;工程管理服务;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;电子产品销售;专用化学产品销售(不含危险化学品);生物化工产品技术研发;机械设备销售;机械设备租赁;包装材料及制品销售;五金产品零售;五金产品批发;电子专用设备销售;货物进出口;技术进出口;租赁服务(不含许可类租赁服务);第二类医疗器械销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可经营项目:第三类医疗器械经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
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