产品实拍

产品特色

• 产品作用：

• VAT 64250-CE52-1101 高压高真空闸阀是 64.2 系列电机驱动真空调节阀，半导体真空腔体常用。

• 产品特点

• 步进电机驱动，闸板定位精准，可连续调节真空度。

• 密封性能***，漏率低，稳定维持高真空环境。

• 不锈钢阀体，耐等离子腐蚀，适配洁净工艺。

• 带位置反馈，机台可以实时读取阀门状态。

• 开关响应稳定，高频次循环使用寿命***。

• 产品参数

• 型号 64250-CE52-1101，DN320 通径。

• 极限真空可达 10 的负 8 次方 mbar。

• 压差 1.2bar，阀体耐温 150 摄氏度。

• 24 伏直流供电，RS232 通讯接口。

• 分子流导能力 30000L/s。

• 应用领域

• 半导体刻蚀腔体真空压力调节。

• 薄膜沉积设备高真空隔离控制。

• 旧款半导体机台真空阀门备件更换。

• 等离子清洗设备真空管路控制。

• 科研大型真空腔体压力节流。

• 这款闸阀既能关断隔离，也能微调真空压力，是真空工艺里很关键的执行部件

企业介绍

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业 （DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组 ，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway 

公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营，缩减中间环节，为消费者在***时间提供优质的产品及满意的服务，为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’ 

售后说明

• 物流配送

• 我们使用顺丰快递/德邦快递

• 付款方式

• 对公付款，全款到账发货

• 退换货政策

• 所有产品享受一年保修期

• 票据制度

• 可开具增值税发票