半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160：Edwards***半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160

Edwards***半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿

命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供

了高可靠性。

功能和优势:

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降

低了总体占地面积。

技术参数：

极限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr? / 1 Pa

进气口连接：***63

出口连接：NW40

重量：244 kg

极限功率输入：3.1 kW

电机额定功率：5.0 kW

1、确认问题（如有需要，会在24小时内派出技术人员赶赴现场确认真空泵故障）

2、故障原因（认故障原因后，拟定出具体维修方案与周期、甲乙两方签定协议后，甲方

安排人员上门提泵）

3、真空泵拆开（为了让客户更清晰的知道维修费用，比其尔会给出详细的维修清单及费用）

4、确认维修（客户同意维修费用后开始维修，维修配件为原装，维修后所换配件全部还客

户）

5、试机确认（确保维修过后达到的真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准）

6、送泵安装（在试机OK后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果）

7、定期回访（维修保修服务；统一修6个月）