MIYUKI 美幸辉真空阀门及压力控制器系列，为高真空工况配套设计，广泛适配半导体、光学镀膜、光伏锂电、真空热处理等行业的真空管路系统，产品覆盖伺服控制蝶阀、断电自锁闸阀、多档位调节阀、手动蝶阀、直通阀、波纹管阀、电磁防逆流阀以及真空压力控制器，形成完整的真空管路控制方案。

结构说明

BAR 系列伺服真空控制蝶阀采用伺服电机直接驱动阀板，阀板角度可连续调节，搭配位置反馈信号，便于上位机闭环控制；阀体内部流道平滑，气流阻力小，适合需要精准调节真空度的工况。GAR 系列在气动驱动基础上增加弹簧自锁结构，在气源中断时阀门保持当前状态，避免腔体真空快速破坏。BAZ、GAZ 为多档位版本，内置预设档位，可快速切换固定开度，简化现场控制逻辑。 BR、BT 手动蝶阀依靠手柄旋转控制阀板，结构简单、维护便捷，多用于辅助管路、旁路管路。SE 直通真空阀为直通式流道，通导能力强；SG 波纹管阀依靠金属波纹管实现介质隔离，***阀杆处的漏气风险，适合高纯、洁净真空环境。PER 电磁防逆流阀依靠电磁力启闭，可防止气体反向回流，保护真空泵组。MS-VP、MGCS、MG-mini485 压力控制器集成真空传感与信号输出，支持 485 通讯或者模拟量输出，用来采集真空压力、联动阀门动作。

选型要点

选型时优先确认使用真空度、介质、工作温度。常规氟橡胶密封适用温度区间有限，高温工况可选用全氟醚密封版本；法兰形式区分 KF 卡箍法兰与 *** 法兰，需要和现场管路法兰匹配。对于不能失压的工艺腔体，优先选用 GAR 断电自锁闸阀；需要连续调节真空流量，选用 BAR 伺服蝶阀；仅需要几档固定开度调节，选择 BAZ/GAZ。波纹管阀 SG 系列适合对泄漏率要求严苛、不允许外漏污染的洁净工艺。压力控制器需要确认信号类型，模拟量或者 485 通讯版本适配客户 PLC。 安装时阀体尽量避开剧烈震动位置，管路减少额外应力；伺服阀、控制器需要核对供电电压与信号协议。定期检查密封件老化情况，高洁净工况下定期清洁阀体内部，减少颗粒物附着。

应用用途

整套产品适配半导体刻蚀、沉积设备真空管路；光学镀膜、真空蒸镀设备的真空调节；光伏电池片制程真空腔体；真空热处理、钎焊炉；实验室高真空系统、真空检测设备。可以用来调节真空流量、切断管路、防止返流、监测腔体真空压力，满足不同工艺对真空环境稳定控制的需求，在进口真空设备国产化替换、备件维保场景中使用较多。