产品介绍

在半导体湿电子化学品生产及工艺液管理过程中，液体浓度是需要持续关注的重要参数。相较于传统人工取样检测，在线浓度分析仪能够直接接入生产管路或工艺设备，连续获取介质浓度信息，为生产过程管理提供实时数据支持。

仪表基于光的折射及全反射原理，通过检测液体折射率变化，结合对应的浓度模型与温度补偿，实现液体浓度的在线测量。

在实际应用中，折射率与浓度之间的对应关系需要结合具体介质建立。不同化学体系的光学特性存在差异，因此，仪表需要根据目标介质及检测要求配置相应的浓度模型。

电子级折光浓度仪支持数据建模及模型定制，可根据具体检测对象建立相应的折射率与浓度对应关系。仪表在运行过程中持续采集折射率和温度数据，经过模型换算及温度补偿后输出浓度结果。

这种测量方式能够将原本需要通过人工取样、送检和分析获得的浓度信息，转化为生产现场连续获取的在线数据，为工艺液配制、补充及使用过程管理提供参考。针对半导体及泛半导体行业对检测设备结构与接液材质的要求，仪表采用分体式设计，主要由浓度传感器和多功能主机组成。

其中，传感器采用超纯PFA/PTFE流通池结构，结合大面积蓝宝石光学棱镜，围绕电子级化学品在线检测需求进行结构设计。同时，产品配备光强自动调节及恒温探测器等设计，以支持光学检测过程的稳定运行。

通过光学测量、浓度模型及温度补偿的协同工作，电子级折光浓度仪为湿电子化学品在线浓度监测提供了一种连续、无试剂消耗的检测方式。

电子级折光浓度仪无需复杂取样流程，不需要消耗检测试剂，减少人工操作环节。同时，仪表运行过程中无机械运动部件，结构稳定，可满足长期连续工作的工业应用需求。整个测量过程无需对样品进行预处理，也无需任何试剂或耗材，可在秒级完成。配备寿命长达10万小时的超长寿命光源，降低了使用与维护成本。用户可选配自动清洗组件，对光学窗口进行全自动清洗，避免污染对测量结果造成偏差。此外，仪表支持上位机通讯，提供4-20mA&RS485信号输出，具备报警及控制等开关量信号输出功能，并支持数据建模，可根据需求定制专属数据模型。

应用领域

泛半导体行业：有SEMI等级要求的硫酸、盐酸、氢氟酸、硝酸、氢氧化钠、氢氧化钾、双氧水、氨水、碳酸钠、显影液等湿电子化学品浓度检测。

技术参数