台式离线分光干涉式非接触厚度测量设备YAMABUN 山文电气 TOF-S

台式离线分光干涉式非接触厚度测量设备YAMABUN 山文电气 TOF-S

日本 YAMABUN 山文电气 TOF-S 属于分光干涉式台式离线测厚仪，依托光谱干涉原理，单面检测即可完成厚度采集，不需要上下成对探头，不会接触划伤透明试样。可解析多层透明薄膜，单独读取每一层涂层厚度，适合多层复合光学膜。重复测量稳定性优异，温漂抑制效果好。选配自动送样机构可实现长条试样连续扫描，配套 PCM-1A 上位软件绘制厚度曲线、统计最小值、平均值、标准差，支持数据导出存档。适合 PI、PET、透明涂布膜、多层复合光学薄膜的研发、来料检验与成品抽检。

产品详情介绍

一、结构与材质说明

TOF-S 整机由主机光学模组、光谱采集单元、试样载台、可选自动送样输送机构、LCD 操作面板、外置电源箱、USB 通讯端口构成。基座为铸件结构，降低外部振动干扰；光学干涉模组集成高分辨率光谱传感器，单面反射采集，仅单侧光学探头，安装操作简便。选配自动送样机构可匀速输送长条试样，实现连续扫描，消除人工手持带来读数偏差。系统内置多层膜解析算法，可拆分多层透明薄膜各层厚度。配套 PCM-1A 软件完成厚度趋势、分层厚度统计与 SPC 质量分析。光学窗口可选配洁净压缩空气吹扫防尘。出厂完成光学标定，光学探头、光谱模组属于核心精密组件，私自拆解会造成测量精度失效。

二、电气与测量性能参数

TOF-S 基于分光干涉光谱反射原理检测厚度，测量范围 1～150μm，薄物档位 1～50μm，厚物档位 10～150μm；最小显示分辨率 0.01μm；重复性≤±0.01μm（视样品与环境）。工作环境温度 5℃～40℃，单次测量温度波动建议≤1℃，相对湿度 35%～80% RH（无结露）。供电 AC100~240V 宽电压，50/60Hz。样品表面褶皱、环境温度漂移、光学窗口积尘会带来测量误差，被测厚度建议控制在量程 20%~80% 区间，避免长期满量程使用。开机预热后执行零点标定。

三、适用工况、安装与使用注意事项

适用场景包含透明光学 PET、PI 聚酰亚胺薄膜、多层复合透明膜、透明涂布涂层试样的洁净实验室研发、来料检验、成品抽检，适合透明基材，需要分层测厚、无接触无损检测场景。适合恒温、低振动洁净实验室；不适用于不透明基材、强腐蚀环境、强磁场、剧烈冲击、高湿结露工况，腐蚀性介质会损伤光学镜头。设备放置稳固台面，可搭配大理石减震基座，远离空压机、风机等振动源。定期清洁光学窗口与试样载台，清除粉尘。设备移位、更换被测材料后，需要重新整机标定；长期停机做好镜头防尘保护。读数异常优先检查环境温度稳定性、光学窗口污染、试样平整度、供电状态。光学镜头、光谱干涉模组为出厂标定组件，不建议自行拆解，拆解将丧失测量精度。