QNPHD系列单轴，高动态压电纳米定位平台

设计特点

• 闭环范围从10μm到40μm

• 直接驱动执行器可加快响应时间并提高处理量

• 高精度，无摩擦的挠性导向

• 设备寿命长

• 具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度

• 开环和真空版本

Aerotech的QNP _HD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和执行器的优点。QNP _HD具有直接测量，电容传感器反馈选件，高谐振频率和高负载能力，是各种高速和高精度应用的理想选择，例如扫描探针显微镜，磁盘驱动器测试或半导体晶圆连接。

***的快速响应

QNP _HD采用直接驱动的致动设计和优化的结构，可实现毫秒级的响应和移动和稳定时间。

通过使用有限元分析进行优化以确保高刚度和较长设备寿命的精密挠曲，QNP _HD提供了高动力学性能，同时为关键的纳米定位应用提供了出色的几何性能（直线度和角度误差）。

高分辨率和定位精度

QNP _HD使用独特的电容式传感器设计提供闭环反馈（-C）选项，该设计允许亚纳米分辨率和一位数纳米线性误差。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。

超精密控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP _HD表现出亚纳米级的定位分辨率和高定位带宽。诸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包之类的软件选件提供了许多***而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。

使用Aerotech的FlashConfig功能可实现自动参数和校准识别。平台会自动识别，所有操作参数（包括轴校准数据）都将上载到控制器中，以确保安全，准确和真正的“即插即用”操作。

在此处详细了解我们的控件和软件。

安装灵活性

QNP _HD可提供后部和侧面电缆出口选件，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性使用户无需设计会增加尺寸和设计复杂性的各种转接板和支架，即可将载物台定向和包装为布置。

可选的安装板可直接安装到英制或米制光学面包板桌。可根据要求提供定制设计和真空制备版本。

订购信息

QNPHD30L单轴，高动态压电纳米定位平台移动

（必需）

反馈（可选）

电缆出口（必填）

安装板（可选）

集成（必填）

压电纳米定位器

Aerotech的QNP系列压电平台，控件，驱动器和软件使纳米定位变得异常容易。QNP 工作台有线性，XY，XYZ，Z和具有亚纳米级分辨率和纳米级线性度的高动态版本，可用于需要***度的高通量工艺。该乐团QLAB独立的控制器有许多***的工具，而对于压电议案1至4轴提供易于使用的界面现代高端功能。该乐团QDE台式机和QL / QLE面板安装式压电驱动器系列旨在与Ensemble系列驱动器和控件无缝配合使用，并以比其他产品更高的速率实现压电平台和伺服轴之间的协调运动。所述NDRIVE QL / QLE面板安装压电驱动器被设计用于与高功率使用自动化3200（A3200）运动控制器，以及在非常高的速率使压电阶段和伺服轴之间协调运动-具有的易用性和广泛的A3200软件库可供您使用。

功能强大，易于使用的压电控件和软件

Aerotech的运动控制器最多可控制32个压电，伺服和步进电机轴，而无需担心集成，特殊的通信协议或定制软件。A3200和Ensemble控制包包括许多功能和诊断功能，例如用于实时事件触发的单轴或多轴位置同步输出（PSO），以及可改善跟踪误差和整个过程吞吐量的***控制功能。

该乐团QLAB独立的控制器有许多***的工具，而对于压电议案1至4轴提供易于使用的界面现代高端功能。

通过Ensemble QDe，Ensemble QL / QLe和Ndrive QL / QLe，您可以轻松地将带有伺服级的压电驱动器联网，并与所有这些轴进行紧密协调的运动。