QNP2两轴，平行运动，XY压电纳米定位平台

设计特点

• 移至240 ?m x 240 ?m

• 大方形透明光圈，70 mm x 70 mm

• 通过并联运动设计实现出色的多轴精度

• 高刚度和动态特性，可实现高工艺产量

• 高精度，无摩擦的挠性导向

• 正在申请***的设计提供了***的几何性能

• 设备寿命长

• 具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度

• 开环和真空版本

Aerotech的QNP2系列XY并联运动压电定位平台在紧凑，小巧的封装中结合了亚纳米级分辨率，高动态性能和出色的几何性能。QNP2系列压电平台具有大的，清晰的孔径，闭环行程可达200 ?m x 200 ?m（开环行程为240 ?m x 240 ?m）。该设计非常适合光学显微镜，扫描探针显微镜，***透射显微镜或需要两侧零件访问的其他检查或制造应用。

精密并联运动设计

QNP2压电位移台采用平行运动的弯曲和计量设计，可确保水平的多轴精度。借助经过FEA优化的精密挠曲，以确保高刚度和长使用寿命，QNP2位移台具有***的刚度和共振频率，从而实现了高工艺通量和快速的闭环响应。  

使用正在申请***的驱动器设计，可将偏航误差最小化，同时仍保持符合Abbe标准的计量系统。这种设计可在整个XY行程空间内实现***的定位性能。

亚纳米性能

所有QNP2压电级均可提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容传感器并行测量设计可测量定位支架的输出，直接实现亚纳米分辨率，低于0.01％的线性误差和一位数纳米可重复性。

超精密控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP2位移台具有亚纳米级的定位分辨率，在位稳定性（抖动）和高定位带宽。诸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包之类的软件选件提供了许多***而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。还提供OEM驱动器选件。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电平台，伺服系统，步进器和振镜之间的高速，严格控制的协调运动。

设计方案

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。固态桌面选项也是可用的。QNP2压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。

订购信息

QNP2-100XYA两轴XYZ压电纳米定位平台

反馈（可选）

安装板（可选）

桌面（可选）

集成（必填）

压电纳米定位器

Aerotech的QNP系列压电平台，控件，驱动器和软件使纳米定位变得异常容易。QNP 工作台有线性，XY，XYZ，Z和具有亚纳米级分辨率和纳米级线性度的高动态版本，可用于需要***度的高通量工艺。该乐团QLAB独立的控制器有许多***的工具，而对于压电议案1至4轴提供易于使用的界面现代高端功能。该乐团QDE台式机和QL / QLE面板安装式压电驱动器系列旨在与Ensemble系列驱动器和控件无缝配合使用，并以比其他产品更高的速率实现压电平台和伺服轴之间的协调运动。所述NDRIVE QL / QLE面板安装压电驱动器被设计用于与高功率使用自动化3200（A3200）运动控制器，以及在非常高的速率使压电阶段和伺服轴之间协调运动-具有的易用性和广泛的A3200软件库可供您使用。

功能强大，易于使用的压电控件和软件

Aerotech的运动控制器最多可控制32个压电，伺服和步进电机轴，而无需担心集成，特殊的通信协议或定制软件。A3200和Ensemble控制包包括许多功能和诊断功能，例如用于实时事件触发的单轴或多轴位置同步输出（PSO），以及可改善跟踪误差和整个过程吞吐量的***控制功能。

该乐团QLAB独立的控制器有许多***的工具，而对于压电议案1至4轴提供易于使用的界面现代高端功能。

通过Ensemble QDe，Ensemble QL / QLe和Ndrive QL / QLe，您可以轻松地将带有伺服级的压电驱动器联网，并与所有这些轴进行紧密协调的运动。