| 加工定制：是 | 品牌：奥地利EVG | 型号：EVG?770 分步重复纳米压印光刻系统 |
| 用途：EVG?770 分步重复纳米压印光刻系统 | 订货号：111111 | 货号：111111 |
| 别名：紫外线纳米压印光刻系统 | 规格：60*80 | 是否跨境货源：否 |
EVG?770 Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography System
EVG?770 分步重复纳米压印光刻系统
分步重复纳米压印光刻技术，可进行***母版制作
技术数据
EVG770是用于步进式纳米压印光刻的通用平台，可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从50 mm x 50 mm的小模具到300 mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。与钻石车削或直接写入方法相结合，分步重***印通常用于有效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的SmartNIL工艺所需的母版。
EVG770的主要功能包括***的对准功能，完整的过程控制以及可满足各种设备和应用需求的灵活性。
特征
高效的晶圆级光学微透镜主制造，直至SmartNIL?的纳米结构
简单实施不同种类的大师
可变抗蚀剂分配模式
分配，压印和脱模过程中的实时图像
用于压印和脱模的原位力控制
可选的光学楔形误差补偿
可选的自动盒带间处理
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）100至300毫米
解析度≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：柔软的UV-NIL
曝光源：大功率LED（i线）> 100 mW /cm?
对准：顶侧显微镜，用于实时重叠校准≤±500 nm和精细校准≤±300 nm
***印刷模具到模具的放置精度：≤1微米
有效印记区域：长达50 x 50毫米
自动分离：支持的
前处理：涂层：液滴分配（可选）
亚科提供设备： 检测设备：原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪（白光干涉仪）、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、***衍射仪XRD、***荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪； 前道工艺设备：PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、 反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机； 微组装设备：粘片机（全自动和半自动）、键合机（全自动和半自动）、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等； LTCC设备：流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\\\\等静压机\\\\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等
点击查看>| 企业类型 | 其他有限责任公司 | 注册资本 | 500.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
| 登记机关 | 北京市工商行政管理局朝阳分局 | 法定代表人 | 徐德荣 |
| 公司成立日期 | 2005-11-28 | 营业期限 | 2005-11-28 至 2025-11-27 |
| 经营范围 | 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
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