| 加工定制：是 | 品牌：奥地利EVG | 型号：EVG IQAligner? 自动化紫外线纳米压印光刻系统/EVG?770 分步重复纳米压印 |
| 用途：EVG IQAligner? 自动化紫外线纳米压印光刻系统 | 订货号：111111 | 货号：111111 |
| 别名：紫外线纳米压印光刻系统 | 规格：60*80 | 是否跨境货源：否 |
IQ Aligner? Automated UV Nanoimprint Lithography System
IQAligner? 自动化紫外线纳米压印光刻系统
用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统
技术数据
IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。
EV Group***卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放邮票的释放机制。
特征
用于光学元件的微成型应用
用于全场纳米压印应用
三个独立控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿
三个独立控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制
利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺
EVG***全自动浮雕功能
抵抗分配站集成
粘合对准和紫外线粘合功能
IQ对准器
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）150至300毫米
解析度≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型
曝光源：汞光源
对准：≤±0.5微米
自动分离：支持的
前处理
涂层：水坑点胶（可选）
迷你环境和气候控制
可选的：
工作印章制作：支持的；
亚科提供设备： 检测设备：原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪（白光干涉仪）、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、***衍射仪XRD、***荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪； 前道工艺设备：PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、 反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机； 微组装设备：粘片机（全自动和半自动）、键合机（全自动和半自动）、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等； LTCC设备：流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\\\\等静压机\\\\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等
点击查看>| 企业类型 | 其他有限责任公司 | 注册资本 | 500.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
| 登记机关 | 北京市工商行政管理局朝阳分局 | 法定代表人 | 徐德荣 |
| 公司成立日期 | 2005-11-28 | 营业期限 | 2005-11-28 至 2025-11-27 |
| 经营范围 | 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
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