数字式四探针测试仪 

型号：SZT-2000

仪器资料：

SZT-2000型数字式四探针测试仪是根据四探针测

试原理研究成功的多用途的综合测量装置，它可以

测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散

层的薄层电阻进行测量，可以从10-6--105Ω—cm全

量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电

阻，是硅材料质量监测的必需仪器。

仪器为台式结构，分为电气箱、测试架两大部分，

用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者专用

工作台上，测试架由探头及压力传动机构、样品架

组成，耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧

压力装置，压力从0—2Kg连续可调，测试架设有手

动和电动两种装置供用户选购。

仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳

定的恒流源组成，测量结果由数字直接显示，仪器

有自校量程，可以方便地对仪器的电气性能进行校

验。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量

范围广、结构紧凑、使用方便等特点，仪器适用于

半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院

校，对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。

仪器主要技术指标：

1．范围：电阻率10-4—103Ω—cm，可扩展至105

Ω—cm，分辩率为10-6Ω—cm

方块电阻10-3—103Ω/□

电阻10-6—105Ω

2．可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm

3．测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）

4．数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、

200mV、2V

（2）测量误差0.2mV档±（0.3%读数+8字）

2mV档以上±（0.3%读数+2字）

（3）输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω

20mV档以上>108Ω

（4）显示31/2位数字显示，0—1999

具有极性和过载自动显示，小数点、单位自动显示

5．恒流源：（1）电流输出：直流电流0—100mA

连续可调，由交流电源供给

（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

五档

（3）电流误差：±（0.3%读数+2字）

6．四探针测试探头（1）探头间距：1mm（2）

探针机械游率：±0.3%

（3）探针：Φ0.5mm（4）压

力：可调

7.测试架：

（1）手动测试架：探头上升及下降由手动操

作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。

（2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操

作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S

可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调

（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开

关控制探头上下运动。

8.电流：220V±10%50HZ或60HZ：功率消耗

<35W

9．外形尺寸：电气箱130×110×400mm