| 产品特性：掩膜对准 | 加工定制：是 | 品牌：EVG |
| 型号：EVG 抗蚀剂处理系统100 | 用途：光刻机 | 订货号：EVG 抗蚀剂处理系统100 |
| 货号：EVG 抗蚀剂处理系统100 | 别名： 匀胶机 | 规格：齐全 |
| 是否跨境货源：否 |
EVG 抗蚀剂处理系统100
抗蚀剂处理系统
EVG100系列光刻胶处理系统在光刻胶涂层和显影的质量和灵活性方面建立了新的标准。 EVG100系列的设计旨在提供***的工艺变化，其模块化功能可提供旋涂和喷涂，显影，烘烤和冷却模块，以满足个性化生产需求。这些系统可处理各种材料，例如正性和负性抗蚀剂，聚酰亚胺，薄抗蚀剂层的双面涂层，高粘度抗蚀剂和边缘保护涂层。这些系统可以处理多种尺寸的基板，直径从2“到300 mm，矩形，正方形甚至不规则形状的基板，而无需或只需很短的加工时间。这使得可以在工业水平上开发新的设备或工艺。 EVG不仅需要高度的灵活性，而且需要可控的和可重复的处理过程，并且在要求苛刻的应用中积累了多年的旋涂和喷涂经验，并将这些知识纳入EVG100系列中，从而可以利用我们的工艺知识来为客户提供支持。
EVG?101
***的抗蚀剂处理系统
研发和小规模生产中的单晶圆抗蚀剂加工
EVG?105
烘烤模块
独立的EVG105烘焙模块专为软曝光或曝光后烘焙过程而设计
EVG?120
自动抗蚀剂处理系统
EVG120是一款紧凑，经济高效的系统，用于在洁净室空间有限的情况下启动生产
EVG?150
自动抗蚀剂处理系统
EVG150是一种全自动抗蚀剂处理系统，可保持涂覆/显影过程和高通量性能，支持直径为300 mm的晶片
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 1000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室 | 统一社会信用代码 | 913101147743437873 |
| 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 | 法定代表人 | 彭波 |
| 公司成立日期 | 2005-04-26 | 营业期限 | 2005-04-26 至 2045-04-25 |
| 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；会议及展览服务；组织文化艺术交流活动；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；机械设备销售；电子产品销售；建筑材料销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
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