HumSys HF是之前引入的水蒸气产生系统的高流量版本。快速响应、宽流量范围、从各种传感器收集数据的能力、全自动和手动操作使其非常适合需要准确稳定的水蒸气源的各种应用。其模块化设计、使用简单命令语言进行控制的能力以及PC软件的多功能性使其能够轻松集成到更大的分析设置中或与其他设备接口。

HumSys HF使用两个质量流量控制器，在高达95°C的温度（扩展温度模型）和高达50 L/min的流速下，产生从0到***的快速、稳定和可重复的RH值。通常，温度探针（RTD1）和数字RH探针（RH和温度数据，16位分辨率）用于RH的控制。额外的温度探针（RTD2）和RH探针以及其他传感器可用于监测工艺室内其他位置的温度和RH。

应用：可编程RH源适用于：-评估水蒸气存在的各种过程-评估室中RH和温度梯度的分布-重量吸附系统-渗透测量仪器-相对湿度传感器校准-专用仪器中的样品调节-材料研究水合作用-在各种工业室中保持***的RH

用于气体饱和的水应该是去离子的，并且具有高纯度，以尽量减少维护。自主供水系统由蠕动泵及其控制器、水位传感器、可视液位指示器、泵启用开关（ON/OFF）和位于后部的泵方向开关（正向/反向）组成。当水位下降到一定水位以下时，泵启动，并提供足够的水来恢复所需的水位。将该量的水预热到饱和器温度以避免饱和器室中的任何温度下降。如果暂时不需要自动补充，则可以关闭泵启用开关。如果必须从系统中排出水，例如出于运输目的，则必须将泵方向开关切换到REV位置，直到水排空。

HumSys HF具有自动和手动操作模式。添加手动模式是为了提供“交钥匙”操作的快速设置。饱和器温度、螺线管状态、MFC控制电压可通过前面板控件进行设置。由此产生的RH、温度和MFC电压可以在LCD显示器上查看。

微控制器板和辅助电子设备为实现仪器的自动操作和与外部硬件的接口提供了许多可能性。从OEM用户的角度来看，微控制器板的模拟和数字资源增加了放弃任何主控制器提供它们的便利性。确保控制设计采用模块化和“开放式架构”方法