气体浓度监测仪

用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。用于原料气体的稳定供应。

MOCVD（金属有机化学气相沉积）广泛应用于LED制造工艺和光学器件制造工艺中。该 MOCVD 设备采用液体/固体材料，通常使用鼓泡方法将其作为汽化气体输送到腔室。在该材料气体供应线路中，实时气体浓度监测对于实现稳定的薄膜沉积过程非常重要。气体浓度监测仪IR-300系列已安装在MOCVD设备的原料气供应线上，可实现在线高速气体浓度监测。支持原料气体的稳定供应。　

业务部门：半导体

产品类别：干燥过程控制

• 实时监测响应
  速度和重复性跟踪气体浓度变化

• 多种校准曲线功能（可选）
  最多可安装 3 种测量气体/满量程浓度（=校准曲线）。

• 多显示器功能
  配备多显示器，将主机顶部的多显示器与模式LED相结合，可现场检查浓度监测和供应线路信息。

• 通讯功能
  支持DeviceNet通讯及兼容数字/模拟信号的通讯方式

• 设计紧凑简洁
  ，尺寸124毫米，设计紧凑，安装位置不受限制。

IR-300 通过使用高亮度、长寿命光源和更快的电信号处理，提高了响应速度和重复性。 （是我们之前型号的两倍多）这可以实现跟踪气体浓度变化的连续在线监测。
*为了稳定监测，我们建议在测量前进行零位校准（至少每天一次）。

MOCVD 材料测量示例