四探针测试仪 不带软件手动）  型号:TZH24-RTS-4

库号：M310820  


本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
RTS-4型四探针测试仪技术指标 ：
 测量范围 电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.0005～10000 s/cm；
电阻：0.0001～2000Ω.cm；
可测晶片直径  140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源  电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表  量程及表示形式000.00～199.99 mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗＞1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；ji|性、过量程自动显示；
四探针探头基本指标  间距：1±0.01mm；
 针间絶缘电阻：≥1000MΩ；
 机械游移率：≤0.3％；
 探针：碳化钨或高|速 钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试) ≤±5％
整机测量标准不确定度  ≤5％
测试模式 可连接电脑测试也可不连接电脑测试。
软件功能（选配） 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据大值、小值、平均值、大变化、平均变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自 动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口 并口，并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间需要1.5  秒。
标准使用环境  温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65％；
 无干扰；
 无光直射；