产品名称：ETAMax微光致发光成像系统MiPLATO-LED

产品型号：MiPLATO-LED

产品介绍：

MiPLATO-LED 是 EtaMax 推出的针对 MicroLED 市场的微光致发光成像系统，具备全流程在线检测能力，可准确检测 MicroLED 芯粒的发光强度、峰值波长、色度一致性等关键参数，是 MicroLED 从实验线走向量产线的关键检测设备。

性能特点：

? 配备高灵敏度光电倍增管（PMT）的高速微型光致发光（PL）强度映射仪

? 支持4英寸、6英寸晶圆上的R、G、B芯片及外延晶圆测量

? 光致发光与反射（或散射）的同步测量（已获***）

? 带漏电流检测功能的LED芯片检测

? 微型LED检测。

  – 可对低强度、无PL信号及异常高PL强度进行分类

  – 芯片定位

  – 缺陷定位与报告

? 特定区域的显微图像观察

? 通过在PL映射数据中认定特定区域进行光谱特性分析（支持映射功能）

? 可使用单色仪在选定波长范围内进行信号测量（选配）

? 外延片检测

技术参数：

产地：韩国

扫描方式：螺旋扫描，配合1800转/分钟旋转与线性运动

晶圆：4英寸、6英寸

载物台：

XY轴线性载物台、Z轴载物台

R轴载物台（高达1800转/分钟）

测量

物镜：

5倍、10倍、20倍、50倍

无物镜激光激发（选配）

成像相机

分辨率：2048 x 2048（400万像素）

像素尺寸：5.5 μm x 5.5 μm

光纤：400微米束芯

光电倍增管

端口1（PMT 1）：带通滤光片下的PL检测

端口2（PMT 2）：反射（散射）

光谱仪

刻线密度：300线/mm

光谱范围（nm）：210 – 2100

像素（每个）：2048 x 64

色散：0.44 nm/像素

激发光源

50 mW 375 nm 激光器（用于蓝光、绿光LED）

50 mW 532 nm 激光器（用于红光 LED）

测量速度

PMT 映射（同时扫描 2 个通道，步进 5 微米）

4英寸：

8件 / 1小时

6英寸：

6件 / 1小时

PMT 映射与频谱映射（可选测量）

7 件 / 1 小时

(光电倍增管：5 μm / 光谱范围：2 mm)

7 件 / 1 小时

(光电倍增管：5 μm / 光谱范围：4 mm)

微型光谱仪测绘：3,600点/小时 步长：min2微米

尺寸（毫米）：2000（宽）× 1400（深）× 2000（高）

工作环境

场所：洁净室（等级约10000级）

温度：15 ~ 35°C

湿度：<85% RH（无冷凝）

设备参数

尺寸：1500 mm x 2000 mm x 2300 mm（含HEPA过滤器）

重量：1760 kg

输入电压：220V±10% 50/60Hz 单相

满载电流：47A

真空1   

40L/min，-80kPa

管径：外径6mm

真空2    

120L/min，-40kPa

管径：外径6mm

空气    

90L/min，0.5MPa

管径：外径6mm