| 产品特性：原子层沉积 | 加工定制：是 | 品牌：PICOSUN |
| 型号：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro | 用途：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro | 订货号：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro |
| 货号：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro | 别名：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro | 规格：PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro |
| 是否跨境货源：否 |
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-300 Pro
（PICOSUN? ALD ALD P-300 Pro）
名称：原子层沉积系统 产地：芬兰
Picosun简介
Picosun是zui家全球公司，Picosun的总部位于芬兰的Espoo，其生产设施位于芬兰的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN?ALD设备专为高产量和高产量而设计，并且不断发展以提高效率。Picosun适应性强其客户包括zui 大的电子制造商，小型的创新型挑战者以及全球ling先的大学。 Picosun的组织机构和种类繁多的ALD解决方案都可以满足每个客户的需求。PICOSUN?研发工具具有独特的内置可扩展性，可确保将研究结果平稳过渡到大批量工业制造中，而不会出现技术差距。Picosun的热情在于创新。当您想与设备制造商共同创建定制的ALD解决方案，从而引ling行业发展时，Picosun是您的合作伙伴。
PICOSUN? ALD P-300 Pro：Picosun? 300mm生产线上的产品是300mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN? P系列Pro和Advanced ALD设备。该工具可以独立工作，也可以集成到PICOPLATFORM?300真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间，所有PICOSUN?的ALD系统有着紧凑、高效的设计。集成的专业机柜，装载着前驱体和电子元件，***了快速简便的维护和zui短的停机时间。PICOSUN? P系列工具***了zui大产能以及zui节约成本的情况下得到***的ALD工艺质量，并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。
工艺咨询和开发，产能提升，维护保养流程和系统及工艺的故障排除，我们客户化定制的PICOSUPPORT?综合解决方案24小时快速响应，随时待命。在购买之前，我们的演示服务***了设备可以***满足客户zui苛刻的产线需求。
技术指标
衬底尺寸和类型 | zui大300mm晶圆/单片 |
工艺温度 | 50 - 500 °C |
基片传送选件 | 半自动装载，用单片Load lock与磁力操纵杆实现 |
25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM? 300集群系统实现 | |
标准 | SEMI S2认证 |
前驱体 | 液态，固态，气态，臭氧源 |
等离子体（仅供200mm晶圆使用，zui多4路气体） | |
前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 | |
6条独立源管线,zui多加载8个前驱体源（zui多12个前驱体源，加上plasma管路共7根独立源管线） | |
重量 | 820 kg |
尺寸(W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
选件 | 集群工具，PICOFLOW?扩散增强，N2发生器，尾气处理，定制设计，与工厂软件连接服务。 |
验收标准 | 标准设备验收标准为Al2O3工艺， |
其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如： | |
--不均匀性 | |
--颗粒物含量 | |
--重金属污染 | |
--电学性能 |
应用领域
PICOSUN? 300 mm 生产线应用案例
集成电路组件 | 微机电系统 |
氧化物间隔层 | 扩散阻挡层 |
间聚介质 | 耐磨涂层 |
高K栅介质 | 电荷耗散层 |
隧穿氧化物薄膜 | 导热层 |
氧化物阻挡层 | 导电种子层 |
钝化层 | 刻蚀阻挡层 |
间隙填充层 | 电绝缘层 |
覆盖层 | 防摩擦层 |
铜阻挡层和阻挡层 | 防粘着层 |
粘附层 | 光学薄膜 |
扩散阻挡层 | 生物兼容层 |
点极 | 密封层 |
金属化 | 纳米孔封堵层 |
其他 | 显示 |
晶体管 | 钝化 |
电容层 | 透明导电薄膜 |
存储器 | 绝缘层 |
读写磁头 |
亚科提供设备： 检测设备：原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪（白光干涉仪）、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、***衍射仪XRD、***荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪； 前道工艺设备：PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、 反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机； 微组装设备：粘片机（全自动和半自动）、键合机（全自动和半自动）、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等； LTCC设备：流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\等静压机\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等。 公司主营设备： 1. 整套半导体设备 2. 整套微组装设备 3. 整套SMT设备 4. LTCC线和线缆加工设备 北京亚科晨旭科技有限公司 地址：北京市朝阳区酒仙桥路甲12号电子城科技大厦14层1408室 葛女士 市场主管 电话：010-84799262-809 传真：010-84799265
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 1000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
| 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 | 法定代表人 | 彭辉 |
| 公司成立日期 | 2005-11-28 | 营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 |
| 经营范围 | 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
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