| 加工定制：否 | 品牌：EVG | 型号：810LT |
| 用途：低温等离子活化 | 别名：SOI 键合机 | 规格：N |
EVG SOI材料键合 810LT 单晶圆低温等离子活化系统
晶圆和基板的尺寸：50mm - 200mm, 100 - 300mm
低温等离子体活化室：
不同晶圆尺寸的夹具：选项（转换时间不超过30分钟）
-金属离子自由激活：选项
工艺气体：2种标准工艺气体：N2 and O2和2种附加工艺气体（可选）
通用流量控制器：自动校准，高达20.000sccm
真空系统：9x10-2mbar（标准）和9x10-3mbar（涡轮泵的选择）
-开/关腔体：自动
-装盒/卸料：手动（晶片/基板置于装料销上）
可选功能：
- 1级洁净室
-金属离子自由活化
采用涡轮泵的高真空系统
低温等离子体活化键合的材料选择（***下列材料）：
-Si: Si/Si, Si/Si (热氧化硅), Si (热氧化硅)/Si (热氧化硅)
TEOS/TEOS（热氧化）
Si /锗绝缘体上锗（GeOI）
- Si / 硅氮化物（Si/Si3N4）
玻璃：（BOROFLOAT，无碱）：硅/玻璃，玻璃/玻璃
化合物半导体：GaAs，GAP，InP
聚合物：PMMA，Cyclo Olefifn聚合物（例如Zeonex，Topas）
-“目前常用的材料”可用材料为用户提供上述和其他材料（完整的名单，可根据要求）
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 1000.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室 | 统一社会信用代码 | 913101147743437873 |
| 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 | 法定代表人 | 彭波 |
| 公司成立日期 | 2005-04-26 | 营业期限 | 2005-04-26 至 2045-04-25 |
| 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；会议及展览服务；组织文化艺术交流活动；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；机械设备销售；电子产品销售；建筑材料销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
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