适配现有产线直接在线加装，改造成本极低直通管路一体化结构，可直接串联在原有超纯水输送管线，无需大范围改造产线；立式 / 卧式双向安装，适配清洗设备、晶圆蚀刻机内置集成，新旧产线升级通用，停机改造时长大幅缩短。

高纯石英 + PTFE 全洁净接液，***超纯水离子析出加热核心采用高纯度石英管，流体接触面无金属、无橡胶溶出，全程不污染 18.2MΩ?cm 超纯水；无重金属、TOC 析出，满足半导体、光学元件超高洁净清洗标准，保障产品良率提升。

无积液直通流道，***死水滋生微生物***直通式无滞留腔体结构，水流全程***、无积水残留，长期运行不滋生细菌、不产生水垢，避免温水管路微生物污染晶片、光学基板，降低产线纯水滤芯更换频率。

1~36kW 全功率覆盖 16 款规格，匹配不同产线流量从小型实验室清洗设备到大流量晶圆批量产线全覆盖，小功率机型适配设备内置，大功率适配厂区主管路在线加热，按需选型无功率浪费。

瞬时加热、温控稳定，清洗工艺一致性高水流通过即完成升温，热交换效***，出水温度波动小；可配套原厂 TC 温控模块联动控温，精准匹配温水清洗工艺，提升颗粒、有机物剥离清洗效果。

紧凑坚固小型机身，设备内置 / 管路侧装均可整机体积小巧，机架坚固抗震，产线 24h 连续运行无泄漏；标准高纯管路接头，快速拆装，维护时无需整段拆卸产线管道。

多重安全防护适配洁净车间缺水、超温、漏电多重联锁保护，断水自动切断加热；外壳绝缘隔热，无尘车间使用安全，不产生粉尘、油污污染洁净生产环境。