池田屋日本进口FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C003-X-95-CP

池田屋日本进口FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C003-X-95-CP

产品概述

C003-X-95-CP 是日本 FLUORO（福乐）C 系列中的一款 ESD 安全真空吸笔，专为处理 125mm（5 英寸）半导体硅晶圆而设计。笔身采用导电尼龙材质，吸笔头采用导电 PEEK 材质，可减少静电对晶圆的影响。该型号采用 NO+SW（常开+机械开关）阀门类型与球状旋转接头设计，适用于需要中途锁定真空或灵活调整角度的精密操作场景。

基本结构与工作原理

该吸笔通过外接真空泵产生负压，利用吸笔头与晶圆表面之间形成的真空吸附力拾取晶圆。C003-X-95-CP 采用 NO+SW 阀门设计：常开状态下靠近晶圆即可吸附，按住笔身上端按钮可释放晶圆；机身配有独立机械开关，按下开关时真空被关断，便于在长时间对位或检测时锁定吸附状态，无需持续按压阀柄。球状旋转接头可调整至所需角度，便于在狭小空间内完成取放操作。

型号编码规则

C 系列型号按以下各段组合：

• 系列名称：C（导电尼龙 ESD 防静电系列）

• 机身代码：003 表示加长深腔机身

• 阀门类型：NO+SW 表示常开型加机械开关

• 连接类型：X 表示球状旋转接头

• 吸笔头编码：95 表示 5 英寸晶圆用；CP 表示导电防静电吸笔头

以 C003-X-95-CP 为例，对应为 C003 机身、NO+SW 阀门、球状旋转接头、5 英寸晶圆用导电吸笔头。需注意，笔身（C003-X，含 106 金属轴）与吸笔头（95-CP）需分别订购。

主要技术参数

• 型号：C003-X-95-CP

• 适用晶圆尺寸：5 英寸（125mm）

• 阀门类型：NO+SW（常开型 + 机械开关）

• 连接类型：球状旋转接头

• 笔身材质：导电尼龙（碳纤维增强）

• 吸笔头材质：导电 PEEK（碳填充）

• 表面电阻率：10?～10? Ω，满足 ESD 防静电标准

• 长度：239mm

• 重量：约 23g

结构与功能特点

该产品的笔身采用导电尼龙材质（尼龙 6 加碳纤维增强），可形成静电泄放通路，减少静电在笔身积聚的可能。吸笔头采用导电 PEEK 材质，经机械加工与镜面抛光处理，接触面平整，在提供吸附力的同时可减少对晶圆表面的划伤。阀门内部经抛光处理，有助于减少微粒堆积。球状旋转接头设计便于调整吸笔角度，适应不同工位的操作需求。NO+SW 阀门类型在需要中途暂停吸附、观察晶片或进行角度标定的场合较为适用。

适用场景

该产品适用于 5 英寸半导体晶圆的搬运与转移，可用于晶圆在工艺设备间的取放操作。在半导体制造工序中，可用于探针台测试、研磨、划片、贴膜等环节的手动上下料，以及机台腔体内取样和外观检查。在电子元件组装环节，可配合对应吸笔头完成小型元件的拾取。使用环境以洁净室为主，需配合专用真空泵及 ESD 安全管使用。

使用说明

使用时需连接真空泵产生负压。C003-X-95-CP 为常开型设计，靠近晶圆即可吸附，按住按钮释放；如需锁定真空状态，可按下机身机械开关。更换吸笔头时需确认与笔身的连接是否紧固。长期使用后需检查管路密封性，避免因泄漏导致吸附力下降。吸笔头属于耗材，可根据磨损情况单独更换。相关配件包括真空泵、ESD 安全管、静电耗散接地套件及吸笔支架等。

生产厂商

FLUORO（福乐）是一家从事半导体晶圆处理工具制造的厂商，产品线涵盖真空吸笔、晶圆夹、真空泵及配套管线等，面向半导体、光电及科研实验室等领域的精密操作需求。

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