| 加工定制:是 | 品牌:ULVAC/爱发科 | 型号:Ashing System - |
| 用途:去胶机 |
Plasma cleaner- 去胶机
应用领域:IC,MEMS,LED,IGBT,SiC Power Device
设备特点:
一体化设计,可对应各种晶圆尺寸&不同尺寸晶圆混合搬送
对应工艺范围广:从下一代有机膜工艺到氧化膜/SiN的刻蚀
利用微波电源,低温工艺,实现无损伤工艺
维护保养周期长:6个月(实际值)
易于维护和工艺腔清洗时间短(30分钟)
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人独资) | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1477室 | 统一社会信用代码 | 91310116568007360P |
| 登记机关 | 金山区市场监督管理局 | 法定代表人 | 李力钊 |
| 公司成立日期 | 2011-01-05 | 营业期限 | 2011-01-05 至 无固定期限 |
| 经营范围 | 从事光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务,晶体材料,陶瓷材料,半导体材料,橡塑制品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),光电设备及配件,半导体设备及配件,机械设备及配件销售,从事货物进出口及技术进出口业务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】 | ||
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注册资本
100.00万人民币
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企业类型
有限责任公司(自然人独资)
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公司地址
上海 上海 长宁区 延安西路726号华敏翰尊国际大厦22K
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