型号：UPC-1000L/UPC-2000L

制造商：UPTECH

设备用途： 二氧化碳发泡机，又称超纯水防静电装置，去离子水电阻 率调节装置，加碳机等等。 其原理是向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳，在水中产 生适量的离子增强超纯水的导电性，降低超纯水的电阻率 防止在划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤 产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净，***烘干后二 氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。 二氧化碳发泡机，可有效控制微电子工业生产制程中的静 电微害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤，防 止静电破坏和微粒子的附着，大大提高产品良品率，降低 生产成本。

设备原理： 设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2无污 染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均 匀溶解到水里，而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特 制膜将CO2气体和超纯水隔开，通过设备中的精密调节 装置可以控制CO2在水中的溶解量，从而实现***控制 水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且***地调整到

0.2-18MΩ·cm范围内。设备特点： 设备操作简单，使用方便，故障率低

用气省,采用隔水气体膜式注入CO2,不产生气泡，另外除了隔4小时需要排1秒钟水气时 带出的CO2外，基本不浪费CO2。

产品水的电阻率可以很方便且***地调整到0.2-2MΩ·cm范围内 水流量变化情况下，可将电阻率变化范围控制在±0.1MΩ·cm内 适用行业：

此设备是用于半导体制造和FPD制造、晶圆和芯片切割工序的必备设备。