WaferMaxT机械轴承直驱旋转平台

设计特点

• 外形小巧，适合空间狭小的应用

• 直接驱动，无刷，无槽伺服电机

• 直联式高精度旋转编码器

• 25毫米光圈

• 可选的旋转接头，用于真空

Aerotech的WaferMaxT旋转平台是要求以低高度封装提供高性能的应用的***选择。WaferMaxT最初是为满足精密晶圆检测的需求而设计的，已被应用于多种应用。标准的25毫米孔径可在需要有限旋转的地方轻松通过真空管线。如果需要连续旋转，则可以结合使用可选的单端口或双端口旋转接头。桌面包括标准安装图案，可轻松安装晶片夹头。

***的机械设计

角接触轴承用于程度地提高摆动，力矩刚度和旋转摩擦的性能。厚壁，精磨的轴进一步减少了摆动。

电缆管理非常轻松，具有集成的电动机电源和反馈连接器。因为WaferMaxT是一个独立的单元，所以可以轻松地集成到多级堆栈中。可以提供服务环路或集成的Aerotech电缆管理系统（CMS），以获得高度可靠的解决方案。

无刷直驱

为了化定位性能，WaferMaxT利用了Aerotech的S系列无刷无槽电机。该电动机具有无刷直驱电动机的所有优点-无电刷磨损，无需齿轮系维护，并具有高加速度和高转速。由于它是无槽无铁设计，因此齿槽效应为零，这意味着没有转矩波动。这使WaferMaxT成为需要出色轮廓运动，平滑扫描速度或***增量步长的应用的理想选择。低惯性和零背隙使WaferMaxT成为需要频繁改变方向的应用的理想解决方案。

准确定位

编码器每转10,000行可确保性能，分辨率为0.065弧秒。2048行选项也可用。电机和高性能旋转编码器直接连接到公共轴。

灵活的配置

Aerotech制造各种伺服放大器和***控制器，以提供完整的集成套件。

订购信息

具有25 mm通孔的WaferMaxT直接驱动旋转平台

反馈

WaferMaxT选项

集成（必填）

Aerotech提供标准和定制集成服务，以帮助您尽快使系统完全运行。以下标准集成选项可用于该系统。如果不确定需要什么级别的集成，或者需要对系统进行自定义集成的支持，请咨询Aerotech。