| 是否进口：是 | 原产国/地区：美国 | 加工定制：是 |
| 品牌：那诺-马斯特 | 电镀位置：溅射和蒸发 | 镀种：真空镀膜 |
| 镀膜原理：离子镀 | 型号：NMC-4000（A） |
NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁。
目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特点：
独立系统
14”不锈钢立方体腔体
1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子
加热的气体管路
RF等离子源，自动调谐
淋浴头气体分布
1100°C的旋转样品台
N2冲洗
全自动上下载片
可以兼容到集群配置中
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司，服务大中华地区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。 上海耀他科技有限公司主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。在薄膜工艺系统领域，产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等，典型的工艺系统涉及PVD物***相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、用于气体分析的电子电离质谱（TOF-MS）等。
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
| 统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
| 法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
| 营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；计算机系统服务；广告制作；广告发布；广告设计、代理；企业形象策划；专业设计服务；企业管理咨询；市场调查（不含涉外调查）；图文设计制作；项目策划与公关服务；会议及展览服务；信息技术咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；组织文化艺术交流活动；互联网销售（除销售需要许可的商品）；电子产品销售；计算机软硬件及辅助设备零售；实验分析仪器销售；仪器仪表销售；机械设备销售；半导体器件专用设备销售；第一类医疗器械销售；货物进出口；技术进出口；电子元器件与机电组件设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：建设工程施工；网络文化经营。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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