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该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5x10-7Torr极限真空)、PC全自动控制。

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  • 发货地上海 徐汇区
  • 发货期限90天内发货
  • 供货总量100台
产品推荐
是否进口:是原产国/地区:美国加工定制:是
品牌:那诺-马斯特电镀位置:溅射和蒸发镀种:真空镀膜
镀膜原理:离子镀型号:NMC-3000
MOCVD设备 NMC-3000等离子辅助MOCVD MOCVD外延生长



NMC-3000等离子辅助MOCVD概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全互锁。

目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。


NMC-3000等离子辅助MOCVD应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点:

  • 台式系统

  • 5个带独立冷却槽的起泡器

  • 加热的气体管路

  • 950 °C样品台,2”晶圆片

  • 3个气体环

  • RF等离子源,带淋浴头气体分布

  • 工艺完成后N2自动冲洗

  • 极限真空5x10-7Torr

  • 260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵

  • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

  • 菜单驱动,4级密码访问控制

  • 完整的安全联锁


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上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司,专注于为半导体行业提供全套的解决方案,主要服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,包含高校、科研院所、企业研发及工业客户,为客户提供国外高端的半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备等。 主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备、表面分析仪器、力学表征仪器、电学表征仪器等。 应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有***的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持水平的集成度。

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 公司注册地址 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602
统一社会信用代码 91310114MABTYCA99H 登记机关 嘉定区市场监管局
法定代表人 张文闯 公司成立日期 2022-07-06
营业期限 2022-07-06至2042-07-05 经营范围 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
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