是否进口:是 | 原产国/地区:美国 | 加工定制:是 |
品牌:那诺-马斯特 | 电镀位置:溅射和蒸发 | 镀种:真空镀膜 |
镀膜原理:离子镀 | 型号:NMC-3000 |
NMC-3000等离子辅助MOCVD概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全互锁。
目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-3000等离子辅助MOCVD应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点:
台式系统
5个带独立冷却槽的起泡器
加热的气体管路
950 °C样品台,2”晶圆片
3个气体环
RF等离子源,带淋浴头气体分布
工艺完成后N2自动冲洗
极限真空5x10-7Torr
260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问控制
完整的安全联锁
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司,专注于为半导体行业提供全套的解决方案,主要服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,包含高校、科研院所、企业研发及工业客户,为客户提供国外高端的半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备等。 主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备、表面分析仪器、力学表征仪器、电学表征仪器等。 应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有***的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持水平的集成度。
点击查看>企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) |