| 产品特性：ECO | 是否进口：否 | 加工定制：是 |
| 品牌：ECO | 型号：OWF系列 | 产品名称：ECO臭氧水机 |
| 适用范围：见图纸 |
臭氧水机
臭氧水机概念
特别是在半导体加工中，需要完全清洁的臭氧系统。在处理（晶片/IMEC/RCA/SOM等）期间，从臭氧系统排放到半导体表面上的任何金属和颗粒都会影响微芯片的质量。
臭氧水机特性
◎ 通过去除有机、金属和颗粒污染物，确保表面高纯度
◎ 通过***的浓度控制，实现高产 量的氧化物生长
◎ 通过轻松转换回氧气，消除对环境的废物影响
应用范围
◎ IMEC 和 RCA 清洁工艺
◎ UPW系统
◎ ***氧化工艺 AOP
◎ 三相系统
◎ 生物降解 DOC
◎ 灭菌消毒 CIP
高浓度臭氧供水系统
方便的HDMI
应用技术与功能
序号 | 应用技术 | 功能 |
|---|---|---|
1 | 臭氧气体发生器 | 应用无声放电法确保高效、稳定、便捷 |
2 | 臭氧气体分解器 | 通过臭氧气体分解向大气中排放零臭氧气体 |
3 | 臭氧气体分离器 | 分离溶解的臭氧和臭氧气体，仅向用户提供溶解的臭氧 |
4 | 调节臭氧气体分离器水位 | 可采用气动方式自动调节臭氧气体分离器的水位 |
5 | 泵压控制 | 当条件发生变化时，通过自动控制来响应异常情况 |
6 | 磁悬浮泵 | 使用清洁泵操作堵塞颗粒 |
7 | 气体混合装置 | 自制气体混合装置的应用 |
8 | 气体再循环 | 通过再循环臭氧气体，产生增加浓度的效果 |
9 | 累计功能 | UT 消耗可以通过应用累计功能（流量、浓度等）来计算 |
10 | 接口 | 可选择端子排和 LAN 上位通信 |
关键技术说明
浓度臭氧供水系统竞争对手对比
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人独资) | 注册资本 | 200.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 无锡市新吴区长江路21-1-104（创源大厦104室） | 统一社会信用代码 | 91320214MA7FUQ8H8Y |
| 登记机关 | 无锡国家高新技术产业开发区（无锡市新吴区）行政审批局 | 法定代表人 | 戴洁 |
| 公司成立日期 | 2022-02-15 | 营业期限 | 长期有效 |
| 经营范围 | 一般项目:电子专用材料研发;家用电器研发;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件销售;环境保护专用设备销售;通用设备修理;电子专用材料销售;专用设备修理;电气设备修理;仪器仪表修理;标准化服务;普通机械设备安装服务;采购代理服务;销售代理;进出口代理;家用电器销售;电子元器件批发;纺织、服装及家庭用品批发;电子元器件零售;配电开关控制设备销售;金属切削机床销售;光电子器件销售;工业自动控制系统装置销售;电子专用设备销售;实验分析仪器销售;特种陶瓷制品销售;电子产品销售;技术玻璃制品销售;集成电路芯片及产品销售;电力电子元器件销售;电子测量仪器销售;配电开关控制设备研发;半导体照明器件销售;信息系统集成服务;数字视频监控系统销售;网络技术服务;与农业生产经营有关的技术、信息、设施建设运营等服务;计量技术服务;消防技术服务;信息技术咨询服务;办公用品销售;劳动保护用品销售;消防器材销售;计算机软硬件及辅助设备批发;通讯设备销售;包装材料及制品销售;建筑材料销售;化工产品销售（不含许可类化工产品）;机械设备销售;建筑装饰材料销售;卫生洁具销售;橡胶制品销售;汽车零配件批发;制冷、空调设备销售;摩托车及零配件批发;食品销售（仅销售预包装食品）;气体压缩机械销售;专业保洁、清洗、消毒服务;五金产品研发;合成材料销售;特种设备销售;城市绿化管理;信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）;软件开发;软件外包服务;工业机器人安装、维修;广告设计、代理;广告发布;广告制作（除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
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