产品概述

以渗透压方式将CO2 Gas溶解在DIW中，使DIW所具有的固有比电阻（17以上）降低到0.2以下，使DIW通电。

产品应用

在半导体生产线上，主要用于Rinse的DIW具有较高的比电阻值，一般DIW Dispense时，Wafer容易带电，而使用碳酸水进行Wafer处理时，可以减少电荷的Charging。

产品特点

◎ 简单的硬件结构，无需定期维护

◎ 采用DIW和CO2水的分配方式，而不是浓度Feedback方式，Resistivity随流量变动的Haunting幅度较小

◎ 具有CO2气体的Auto purge功能，比阻值稳定性好

◎ 置换CO2 Gas的Module耐久性好，设备内无CO2 Gas Leak，Module寿命长(CO2置换模块***5年)

CO2置换模块详情

Dicar产品描述和构成

• 如图所示，当CO2气体供应到模块时，Dicar设备的内部配置在模块中以渗透方式置换到DIW中。

• 置换的CO2水（约0.02）和Bypass的DIW合并供应给Main设备，使其保持一定的比电阻值，因为随着流量的增减，一定比例的CO2水供应给设备。

非电阻值Haunting随Dicar流量变化的变化

具有DIW的Bypass功能以及Hardware结构，即使在处理过程中出现Chamber提供的DIW流量波动，也能稳定地实现Resistivity，如上述数据所示。

竞品比较

与现有的DIC公司e FLOW产品的性能和规格相同的原因是，它安装在现有的设备上，只有相同的规格才能安装在目前交付的设备上，所以它是用相同的规格制造的。