是否进口:是 | 原产国/地区:美国 | 加工定制:是 |
品牌:KLA | 型号:Profilm 3D | 产品用途:台阶高度,纹理和形状,纹理表征 |
产品描述
Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。Profilm 3D系列的光学轮廓仪机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm 3D光学轮廓仪 采用TotalFocus? 技术,可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像,每个像素都处于聚焦状态。最***的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术,可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及***的反射率表面。
在 Profilm3D 测量技术中,测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径,能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中,可以进一步增大测量区域。Profilm3D 还具有简单、创新的用户界面和自动化功能,支持从研发到生产的各种工作环境。
我们的 Profilm? 软件包采用***的基于云的 ProfilmOnline? 网络服务、 Android 和 iOS 的移动应用程序以及*** Profilm 桌面软件,可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。
Profilm 3D光学轮廓仪特征优势
垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征
TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化
真彩色成像可生成实际的样品颜色,增强可视化效果,尤其是对于细小或埋藏的特征
粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度,从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比
该自动对焦功能具有***的长压电行程范围,可扫描高度相隔甚远的多个表面
可以测量非接触式非平坦样品:由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术,可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度,纹理和粗糙度。除此之外,作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。
快速测量大面积区域:具有长行程范围的 自动化 X-Y 样品台(测量范围为毫米级别,配置XY样品台达100mm*100mm),非常适合分布测绘和拼接扫描
可视化3D功能:使用简便的软件包带有*** Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序,可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。Profilm 3D轮廓仪具有强大的处理软件,软件除包括表面粗糙度,形状和台阶高度的测量外,还可以任意角度移动样品量测三维图形,多角度分析样品图像。
适用于各类样品:Profilm 3D轮廓仪适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量。
Profilm 3D光学轮廓仪应用功能
台阶高度:从纳米级到毫米级的 3D 台阶高度
纹理和形状:3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状
纹理表征
边缘倒角:3D边缘轮廓测量
缺陷表征:3D缺陷表面形貌、缺陷表征
对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描
高粗糙度,低反射率,划痕表征
技术能力:厚度范围,VSI 50nm-100mm
厚度范围,PSI 0-3 ?m
样品反射率范围 0.05%-***
Piezo范围 500 ?m
XY平台范围100mm x 100mm
Profilm 3D光学轮廓仪应用领域
大学、实验室和研究所
硅和化合物半导体
精密光学和机械
医疗设备
LED:发光二极管
功率器件
MEMS: 微机电系统
数据存储
汽车
Profilm 3D光学轮廓仪应用案例
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司,专注于为半导体行业提供全套的解决方案,主要服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,包含高校、科研院所、企业研发及工业客户,为客户提供国外高端的半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备等。 主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备、表面分析仪器、力学表征仪器、电学表征仪器等。 应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员,使得公司拥有***的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商,我们的目标是提供高品质的服务并始终维持水平的集成度。
点击查看>企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准) |