SVG90S 2C2D 8寸涂胶显影机。 

SVG/RITE TRACK SVG 90 S是来自RITE TRACK DLE, Inc.的光阻设备，功能是产生错综复杂的半导体电路。该系统开发用于商业和研究型光刻工艺，采用一种有吸引力的蒸发涂层技术，应用于硬化木材表面。这种涂层工艺形成了通常光刻涂层工艺的加速版本，使得结构化金属化的整个模式能够以比其他方式更高的速度和分辨率产生。使用SVG/Rite Track SVG/RITE TRACK 90 S单元的过程始于通过数字化微型计算机将阵列电路设计转移到光掩模。然后在光掩模上涂上一层惰性气体，以防止氧化并产生保护性屏障。然后用光敏材料的化学灵敏度增强层喷涂曝光的光掩模表面，以方便下一阶段的处理。光能随后被聚焦在光掩模表面上，从而引发化学反应，导致光响应涂层变硬。这种硬化的涂层允许将所需的设计模式均匀转移到硬化的木质基板上。然后可以通过基于所需的材料层的多种方法进一步开发光刻胶。SVG SVG 90 S还包括自动厚度控制机，产生用户***的理想层厚度。此外，该工具允许密切监测和可调整的工艺参数，确保光致抗蚀剂层符合具体项目的限制。综上所述，SVG/Rite Track RITE TRACK 90 S是一种光阻资产，旨在快速准确地生成复杂的半导体电路模式。其吸引人的蒸发涂层技术和自动化模型参数使用户能够以比传统光刻更高的分辨率产生高质量、复杂的结果。这些优点使SVG/Rite Track SVG/RITE TRACK 90 S成为基于商业和研究的光刻工艺的理想选择。