一【技术特点】控制系统(自动或手动，远程手机监控）

PLC 作为控制系统的核心，检测并控制测量仪表和电气元器件的多种信号。控制系统还配有 HMI 人机交互界面，实时显示检测信号、控制信号、运行数据等过程控制信息，并将必要的数据记录在工控机中。设备运行的工艺参数设定可通过人机交互界面进行选择、编辑和保存，自动设置：设置好参数炉子可以按照你设定的值自动启动加热或停止，机械泵开启或关闭，分子泵自动启动或停止，人工只要装料拿料确认工艺启动就可以完成材料的整个工艺制作。

加热系统

1、加热区尺寸：600*390mm（L×?）

2、加热功率：25 KW

3、加热元件：钼镧合金

4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢

5、温度测量：N型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min，最快≤20℃/min

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用优质99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以***不变形。

9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮多组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

五、真空系统

1、真空配置： 一台复合分子泵FB-1600、一台旋片机械泵BSV-40；

2、极限真空：≤6.67*10^-4Pa（空载、冷态、经净化）；

3、工作真空：≤6.67*10^-3Pa；

4、真空测量： 复合真空计ZDF5227A

测量范围 1.0*10⁵~1.0*10^-5Pa

5、真空机组功率：4 Kw

6、优点：效***、无污染、低能耗、低噪音。

7、压升率：1Pa/h

六、水冷系统：

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。

七、安全系统：

安全系统包括：停水、驱动气欠压、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。